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高温用MFC

2012年9月19日 20:50

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス

MFC / MFM / APC ほか、KHK認定仕様MFC、1MPa以上の圧力で使用できる
高圧マスフロ-コントロ-ラ-のことなら、川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 050-8881-3987
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に変えてお知らせください。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年9月19日 水曜日
 ※AKB48の29枚目シングルの選抜メンバーを決める「AKB48 29th シングル
  選抜じゃんけん大会」が行われAKB48の島崎遥香さんがセンターの座を勝ち取りました。
  1回目と2回目の優勝者、内田真由美さんと篠田麻里子さんも選抜入りしましたね。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝26℃、昼35℃、夜33℃
 本日の電力消費率は?
 東電87%,北陸電80%,中部電85%、関西電83%,中国電78%,四国電77%,九州電78%

です。


「何か大きなことをやらなきゃ!」

 と焦るより


 今やっていることを

 大きな気持ちで取り組んでみる


 やったことが回りに回って

 世の中に影響を与える

 大きなことをしようと求めるほど

 身近な大切なことが見えなくなり

 おろそかになって


 やがて

 それが周りに広がってしまう


 大事なのは、仕事の大小ではない

 どんな仕事も社会貢献となる


 大きな気持ちで

 今日、関わる人たちが、より幸せになるように

 最善を尽くしていれば


 やがて

 その良い波が次第に大きくなって広がっていく


 世界の未来は

 今日の自分の気持ち次第で変わる

(小田真嘉氏成長のヒントブログより) 

 by との

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