シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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高速応答のマスフローコントローラのスピードは?

2012年9月 5日 18:31

50L/min、100L/min、150L/min クラスの中・大流量域製品で

「設定流量98%到達までに1秒以内」

の高速応答製品お問合せがありました。


「センサーの反応速度」
「PCボードの処理能力」
「バルブの動作スピード」
「PID調整」
「バルブの種類」
「安定性」

などなど

マスフローコントローラのトータルバランスが要求されます。

実際、流量からして難しいのです。
※お客様や装置側の供給能力、排気能力は一旦無視しております。

2012.09.05MFC1.jpg 2012.09.05MFC2.jpg

実際に、Air 200L/minのマスフローにて実証試験をしてみました。

マスフローコントローラ
200L/min、直動バルブ仕様

通常は大流量用MFCに使用されるパイロットバルブでは100%無理です。

この直動弁で検証です。

2012.09.05MFC3.jpg
動作データ
※MFCよりデジタルデータをそのまま表示

一目盛1秒ですので

ほぼ標準設定にて

「設定値≒流量値まで1秒以内」

が達成しておりました。

低差圧、腐食対応、高圧ガス申請仕様(1MPa以上)、液体MFC・MFMまで
特殊仕様のマスフローコントローラーやマスフローメーターのことなら
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TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
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※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年9月5日 水曜日
 ※米Appleが9月12日(現地時間)に開く発表会の招待状を送付したと、米メディアが
   一斉に報じたため新型iPhoneが発表される可能性が高いようです。
   発表会は12日午前10時(日本時間13日午前2時)にサンフランシスコで開かれます。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝25℃、昼31℃、夜32℃
 本日の電力消費率は?
 東電88%,北陸電91%,中部電89%,関西電84%,中国電87%,四国電80%,九州電86%

です。


 「私は悪くない」

 「そんなつもりない」

 「いや、あの人が...」


 と言う人は

 周りからの信用を失う

 その時ほど

 周りと上を立て

 自分ができるかぎりカバーする


 それで損することも

 ハズレくじをひくこともある


 しかし
 
 誰かちゃんと分かってくれるし

 神様もちゃんと見てくれている

 

 周りからの信用が積み重なって

 神様が次を用意してくれる


 そうして

 「神用」のある人になっていく


(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との 

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