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高圧、高温MFC

2012年8月22日 18:49

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス

ガス流量計、マスフローコントローラー、マスフローメーターのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年8月22日 水曜日
 ※2030年の原子力発電への依存度などエネルギー政策に関する世論調査
  やパブリックコメント(意見公募)を検証する専門家の初会合でパブリックコメ
  ント約8万9000件のうち7000件程度を集計した結果、81%が「即時ゼロ」
  8.6%が「段階的ゼロ」で原発ゼロシナリオを選ぶ声が計89.6%と約9割を
占めたことなどが報告されたています。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝
 本日の電力消費率は?
 東電90%,北陸電92%,中部電86%,関西電87%,中国電90%,四国電89%,九州電90%

です。


 対応力は想像力


 相手がどんな人なのか?

 どんなことに悩んでいるのか?

 どんなことを望んでいるのか?


 それをまずは

 勝手にイメージしてみる


 あとは

 相手の幸せ(喜び)のためにできることをやってみる


 そのイメージと現実がどれほど差(ギャップ)があるかどうか

 検証してみる


 それから

 再びイメージし

 またできることをやって

 想定と現実の差(ギャップ)を埋めていく


 それを何度も繰り返し

 続けていくうちに


 相手を見た瞬間にパッと

 直感(ひらめき)が働くようになる

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との 

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