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高温用MFC

2012年8月29日 19:16

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


ガス流量計のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年8月29日 水曜日
 ※南海トラフ沿いで起きるとされる巨大地震をめぐって国の二つの有識者会議
   が被害想定を発表し、東海地方が大きく被災する最悪クラスでは、東日本大
   震災の1.8倍の1015平方キロが津波で浸水し国が2003年に出した想定の13
   倍に及ぶ32万3千人が死亡、中部電力浜岡原発(静岡県御前崎市)も水につ
   かる想定だそうです。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃、夜34℃
 本日の電力消費率は?
 東電89%,北陸電90%,中部電90%,関西電84%,中国電88%,四国電83%,九州電88%

です。


 自分から


 あらゆるものを引いて引いて

 残ったものが「魅力」


 チカラ、お金、肩書き、人脈、スキル

 知識、地位、名誉、実績...


 それらを全部

 削ぎ落とした自分で勝負して、人間力は磨かれ

 剥ぎとった自分で向きあって、魅力は放たれる

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との 

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