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半導体装置のクリーニングガス

2012年6月 7日 19:11

 半導体や液晶パネルに SiO2 や Si3N4 の薄膜材料が絶縁膜として
使用されており、目的のウエハ上にCVD装置などによって製膜させ
ていきます。

ところがウエハ上だけでなく余計な場所まで堆積してしまい、汚れ
が溜まっていくことで製品歩留まりに影響を与えてしまいます。
成膜装置チャンバー内を分解洗浄し掃除するのは容易ではありませ
ん。そこで考え出されたのがフッ素系ガスによるクリーニングです。
エッチングなどと同様にフッ素系クリーニングガスをチャンバー内
に導入し汚れを SiF4 のような揮発性の高いガスに変えて飛ばして
しまいます。

主なフッ素系クリーニングガス
・C2F6
・C3F8
・NF3
・ClF3
・F2

最近では温暖化係数の低い フッ化カルボニル COF2 なども使われつ
つあります。

また、クリーニング後の未反応ガスについては、無害化する除害装置
などを用いないと有害ですので注意が必要です。


フッ素系クリーニングガスのご用命、ガス供給設備の設備工事や現地
特殊ガス配管工事、未処理ガスの除害装置までご相談ください。
TEL 050-8881-3987
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年6月7日 木曜日
 ※AKB48の27枚目のシングルを歌う選抜メンバー16人を決める第4回「AKB48選抜総選挙」
  の開票が日本武道館で行われ昨年2位の大島優子さん1位になりました。
  昨年1位で8月27日に卒業する前田敦子さんもステージ上に駆け付けて二人涙を流して
  抱き合っていましたね。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝20℃、昼27℃、夜26℃
 今日の東電最大消費率 82%(AM11:00,PM1:00~4:00)

です。


現代の悩みは

人が自分のために何かをしてくれるもの

と期待している人間が多すぎることだ。


今日の大部分の問題の解決は

自分で何かをする一人ひとりの中に見出される。

あら探しをするよりも改善策を考えなさい。
(ヘンリー・フォード談)

 by との

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