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エキシマレ-ザ- Excimer

2012年6月 9日 20:32

集積回路のウェハ上に回路を形成するためには 0.1 μm 以下の
超微細加工が必要です。

ウェハに素子を転写・焼付けする露光装置の解像度を決め手は配線
の最小線幅です。その精度を決定付けるのが光源の波長とレンズの
開口度に依存され、光源自体の短波長化が重要になります。

 0.1 μm 以下の超微細加工には従来の高圧水銀灯の 波長436nm の
g線 だったり 波長 365 nm の i線 よりも更に短波長の 波長 248 nm
KrF 、波長 193 nm ArF のエキシマレーザーで、更に解像度を上げる
ために投影レンズとウェアの間に空気よりも屈折率の高い純水を満た
した ArF 液浸露光装置など開発されています。
 リソグラフィ工程には塵埃から保護するためのフレーム付き薄膜ペ
リクル+透明フッ素樹脂や KrF や ArF レ-ザ-にフッ素ガス(He+F2)
が使われたりArf露光装置のレンズの一部に光透過性に優れた CaF2
単結晶や ArF用フォトレジストなどにも光透過性に優れたフッ素系
樹脂 が用いられております。

エキシマレーザー用フッ素ガス供給装置 He+F2 , He+H2+HCl など
フッ素系ガス配管工事、フッ素系ガス無害化除害装置など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@kcchem.co.jp
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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2012年6月9日 土曜日
 ※ポルシェ911カレラS(RR/7AT)が遂に400psに到達しました。
  3.8リッター水平対向6気筒エンジンを搭載し997型の「カレラS」よりも最高出力が15ps
  最大トルクは2.1kgmアップしています。

 天気 曇りのち雨
 気温 19℃(PM9:00)
 本日の東電最大消費率 79%(PM7:00)

です。

 人からの頼まれごとは

 できる限り受けたらいい


 しかし


 その頼んできた人が

 自分たちの損得のために

 こちらを利用しようと近づいて来ているなら

 断ることも重要

(小田真嘉氏成長のヒントブログより) 


 by との

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