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高圧MFC、高温MFC

2012年5月30日 16:38

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


マスフローコントローラーの必要な流量制御・流量監視ガスユニットの設計、製作、現場施工、修理、改造まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
TEL 048-282-3665
FAX  048-281-3987
E-mail :CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年5月30日 水曜日
 ※NHKは2013年度の大河ドラマ「八重の桜」に出演する、キャストを発表し
  同志社大を創設した新島襄の妻で、日本初の篤志看護婦として日清戦争、日露戦争に同行した
 "日本のナイチンゲール"新島八重(綾瀬)の生涯を描く大河ドラマ52作目主演に綾瀬はるかさんが
 出演するそうです。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 
です。


 あの人が動かないのは

 もしくは成果が出ないのは


 能力や理解度の問題でも

 本気かどうかの問題でもない


 その人なりの言い分や

 やらない理由がある


 その本音を無視して


 正論を振りかざして

 自分の都合がいいように計算高く

 相手を強制的に動かそうとしても


 全部、バレている


 その人が本音を言わないのは

 自分が本音で関わっていないから


 こちらが本音で

 誠心誠意

 向き合い続けて

 信頼されなければ


 相手も本音を言わず

 表面的に対処されるだけ


 確かに

 本音で向き合ったら

 ぶつかることもある

 別れもある


 しかし


 それを恐れていたら

 永遠に関係が深まることはない

 本音で付き合える人との出会いもない


 ちなみに...


 本音で向き合っている姿勢を見て

 意外な人が信頼して

 協力してくれるようになる


(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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