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MFCの1MPa以上の高圧タイプ、高温仕様

2012年2月 1日 20:27

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


マスフローコントローラー・マスフローメーター・パージメーターのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail :CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年2月1日 水曜日
 ※発達中の低気圧が北日本に接近した影響で、日本海側で大雪となっています。
  積雪量は青森県酸ケ湯413センチ、新潟県関山330センチ、新潟県津南、山形県肘折
  329センチ、新潟県十日町274センチなどとなっています。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 昼4℃、夜7℃

です。

 まわり(誰か)のせいにすれば、自分は変わらなくてすむ

 それはラクかもしれないが、いつまでも続けていたら

 大切な何かを失っていく


 大事なことは、与えられた持ち場で、自分のやるべきことを

 ちゃんとやること


 多くの場合、求められていることは、特別な難しいことではなく

 基本的なことのはず


 あとは自分の心にわき上がる

 
 「面倒くさいな」

 「もっとラクな道ないかな」

 「コレぐらいでいいや」

 と思う気持ちと向き合うだけ

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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