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耐圧気密仕様高圧MFC、200℃高温MFC

2012年1月25日 16:49

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス

MFC / MFM / APC ガス流制御機器のことなら
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FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年1月25日 水曜日
 ※テニスの全豪オープン第10日男子シングルス準々決勝で世界ランキング26位の
  錦織圭選手は同4位のアンディ・マリー選手に3-6、3-6、1-6でストレート負けし
  第4シードの相手に完敗しました。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝1℃、昼3℃、夜5℃

です。


 不安定や不調が続くとき

 思うような成果につながらないとき


 それは

 部屋(自分の持ち場)が散らかっているか

 食が乱れていかのどちらか


 忙しいから片づけられないのではなく

 片づけていないから忙しくなっていく


 忙しいからちゃんと食事できないのではなく

 ちゃんと食事していないから忙しくなっていく


 まずは

 今、使わない不要なモノを捨ててみる

 炊きたてのごはんを味わって食べる


 心がスッキリして

 じわーっと満たされていけば


 自然と調子は戻り

 そのうち勢いがついてく
 
 
(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との


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