シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

高圧、高温MFC

2011年12月28日 12:35

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


流量計、微量流量計、流量自動設定流量計、流量積算計など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CitHere_info@klchem.cop.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年12月28日 水曜日
 ※タレントの小倉優子さんが、第1子懐妊だそうです。
 「現在五カ月で体調も良く、来年の六月には赤ちゃんに会えそうなので、
  本当に楽しみです!!」と来夏にママになる喜びをブログに綴っているそうです。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝3℃、昼6℃、夜3℃
 自然からのメッセージ
 今日の風景は「朝日」 丙辰(ひのえたつ)
 はじまりの「気」に満ちた、朝の太陽。
 はじまりの「気」を集めるためのコツは、
 迷いなく飛び出すこと。
 はじめさえ良ければ、後は力を抜いて勢いに乗ること。
 これこそ、万事がうまくいく神髄です。

です。

 掃除する時間がないのは掃除をしていないから時間がなくなる

 しぜんとモノは増えていくから

 自分にとって何が必要で不要かはっきりしないと

 モノが捨てられなくなる

 片付かなくなる


 すると

 迷ってばかりになる

 次の流れが来なくなる


 そんなときは

 全部捨てるぐらいの覚悟で

 モノを半分に減らすぐらいじゃないと変わらない


 捨てるごとに

 何を大切にして毎日を過ごすのか明確になっていく


 片付けるごとに

 次の流れをお迎えしやすくなっていく

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

このページのトップへ

ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.