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ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？ その１
新・ＭＦＣ千夜一夜物語 第１３夜 ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？ その１
皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語 第13夜です。
実は今週、Decoは久しぶりに最新ＭＦＣの技術講習会に立ち会わせて頂く機会がありました。
マルチガスマルチレンジタイプ(以下ＭＧＭＲ)のＭＦＣという物をご存じでしょうか？
弊社のＨＰで ホーム＞マスフロー＞「1台で何種類ものガスを流したい 」を見て頂けますか？
http://www.klchem.co.jp/mfc/mfc_09.php
ここに日立金属さんのSFC1480FXマルチガスマルチレンジ・デジタルマスフローが掲載されてい
ますが、このタイプのＭＦＣはＰＣのソフトでガス・流量をある程度の範囲で書き換えることが
できるのです。ＭＦＣという製品は、基本的にガス・流量・継手等の仕様が決定してから、メー
カーさんで製造する受注生産品です。そして、一度決定した仕様を変更する・・・例えばN2のMFC
をAr用にする・・・といった対応は、メーカーさんに送り返して改造して頂くしかありませんでし
た。
ところがMGMRタイプが世の中に出現してからは、ある程度の範囲でこの書き換えが、ものの数
秒で可能になったのです。でも、勘違いしないでくださいね。F.S.1SCCMのMFCを100SCCMに
したり、F.S.50SLMのＭＦＣを100SCCMに変えるようなマジックはできません。なぜならMＦＣ
の基本構成となる流量計測するセンサー、バイパスの組み合わせと、流量制御するバルブのオリ
フィス径の選択というハードウエア的にカバーできる限界があり、一つの組み合わせでガスと流
量のマトリックスを全て網羅はできないのです。
ここで「ガスと流量のマトリックス」という言葉を使いましたが、元来ＭＦＣはガス種という
観念を、流量の相対比で考えています。N2 100SCCMのＭＦＣにN2を流すと当然100SCCM、
Ar 100sccmのMFCにN2を流すと71SCCM程度という形で、実は流量比率だけで定義することが
可能なのです。もちろんガス同士の関係は、単純な一定比率ではなく流量レンジによって微妙に
変化する傾向があり、N2を基準としたときに重いガスになればなるほど、その偏差が大きくなる
ようです。そういったガスの特性差による比率変動幅までデータベース化することで、このＭＧ
ＭＲタイプのＭＦＣが生まれました。一言でデータベースと言いましたが、実はこの背景にはメ
ーカーの賢明な努力があるのです。詳しくは次回に。
それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】
by Deco
MFC/MFM/MGMR/APCのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※ｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月30日 水曜日
※東芝は発光ダイオードや光センサーなどの半導体をつくる北九州市、静岡県御前崎市
千葉県茂原市にある国内計３工場を来年9月末までに閉鎖すると発表されました。
大分県の半導体工場の生産も縮小する予定とのことです。
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝10℃、昼13℃、夜13℃
です。
大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより
受験生が使ってはいけない言葉6
「今の自分ではムリかなと思って」
今の自分ではムリかなと思って、やるべきことを先延ばしにする。
それは、一つの言い訳だ。
受験期間に何度か壁を訪れるだろう。
偏差値の壁。
苦手教科の壁。
しかし、その壁すらやってこずに、受験期間を終えてしまう受験生がいる。
なぜ壁にぶち当たらないのか？
それは挑戦していないからだ。
今を先延ばしにして逃げているからだ。
今の自分より少しレベルの高いことに挑戦することで、
成績アップも心の成長も訪れる。
自分のキャパ（許容量）を超えることで、成績が上がる。
挑戦するのは、未来の自分じゃない。
ダサくても、かっこ悪くても、今の自分で勝負しよう。
by との
投稿者: 管理人 日時: 2011年11月30日 23:35 | 固定リンク：ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？ その１