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半導体用のガス

2011年11月19日 19:09

もはや、半導体が産業の米と言われたのは過去のこと。

薄膜を積層させる技術は、太陽高発電、LED、有機ELなどに取って代わりましたが
半導体の技術が進化発展してきたことから引き継がれ新たな産業を生み出されていると思います。

半導体前工程と呼ばれるプロセスは、シリコン薄膜の表面を酸化・CVDなどの方法でシリコン酸化
物、シリコン窒化物などの薄膜をつけ。マスクを用いて写真製版、エッチングにより部分的に除去
し、ここに拡散、イオン注入などにより必要な不純物を入れます。これらの工程を複数回繰り返し
シリコン薄板に多くのICチップを製作します。

それぞれの工程で使用される高圧ガスには、多くの種類、混合割合、流量を微妙に制御されています。

エピタキシャル成長
Si     [SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiCl4] + H2
Ge     GeH4,GeCl4
ドーパント  AsH3,PH3,B2H6
Ⅲ-Ⅴ族   AsH3 + (CH3)Al + (CH3)Ga + H2
ドーパント  H2Se,H2S,H2Te,(Ch3)2Te,(CH5)2Te,(C2H5)2Te,(C2H5)2Zn

酸化
      O2,O2 + H2,O2 + H2O,O2 + HCl,O2 + Cl2,O2 + N2

エッチング
SiO2    CHF3,CF4,CF4 + H2,C2H6,C3H8,CCl2F2
Si3N4    CF4,CF4 + H2,CF4 + O2
Poly Si   CCl4,CF4,CF4 + O2,CCl3F,CClF3,CBrF3,Cl2,SF6,NF3,C2H6
Si     CCl2F2,CF4,CF4 + O2,CCl4
Al     BCl3,CCl4,CCl4 + Ar,CCl4 + He,Cl2
Al2O3   BCl3,CCl4,CCl4 + He
Cr     Cl2,CCl4,CCl4 + Air,CCl4 + O2
Mo     CCl2F2 + O2,CCl4 + O2,CF4 + O2,CF4
Ti     CCl4,CF4
Ta     CF4
GaAs    CCl2F2,CCl4

レジスト除去
      O2,CF4 + O2

不純物拡散
B     BCl3,BBr3,B2H6
P     PH3,PCl3,POCl3
As     AsH3

イオン注入
B     BF3,BCl3
P     PH3 + H2,PF3,PF5
As     AsH3 + H2,AsF3,AsF5,AsCl3
Si     AiF4
Sb    SbH3

CVD
SiO2   SiH4 + O2,Si(OC2H5)4,SiH2Cl2 + N2O,SiH4 + N2O
Si3N4   SiH4 + NH3,SiH4 + N2,SiH2Cl2 + NH3
PolySi   SiH4 + NH3,SiH4 + H2,SiH4
PSG    PH3 + SiH4 + O2,SiH2Cl2 + PH3 + N2O
BSG    B2H6 + SiH4 + O2
a-Si    SiH4 + Ar,SiH4 + H2
Al2O3   AlCl3 + CO2 + H2,Al(CH3)3 + O2,Al(OC3H7)3

スパッタリング
      Ar,Ar + O2

イオンプレーティング
      O2,N2,NH3,C2h2,CH4,H2S


各種高圧ガスのボンベでのご用意、ガス機器(圧力調整器、バルブ、流量制御機器など)
特殊ガス配管工事まで川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
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FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere@klchem.co.jp
※アドレス前のCutHereはスパム対策ですので削除願います。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市の天気は?
 2011年11月19日 土曜日
 ※CS放送のアニメ「銀魂(ぎんたま)」の1話分が突然放送休止になり、蓮舫行政刷新相
  のネタが影響したのかと取り沙汰されております。

 天気 雨
 気温 13℃(PM7:30)

です。


耳に聞こえてくる音は、

あなたの心をあらわしている。

心の中が、騒(さわ)がしいと、

まるで、それをごまかすかのように、

人は、物音をたてたり、刺激的な音楽を聴いたりして、

騒音(ノイズ)の中に隠れようとする。

心が静かな人は、

所作(しょさ)も静かで、

無音の中で、真の幸福感に満たされる。

耳を澄まして、

心の音を、聞いてみよう。

(北極流今日の開運メッセージブログより)

 by との

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