シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

化合物半導体の製造工程

2011年11月13日 18:01

 GaAs(ガリウムヒ素)、GaP(ガリウムリン)などに代表される化合物半導体は
Si(シリコン)では難しい光半導体素子やオプトエレクトロニクス素子、超高周波
超高速デバイス用半導体にかかせないものとして発展進歩してきました。

それではSiやGeなどの元素半導体と比べ化合物半導体とはどのような特長があるので
しょうか?

 化合物半導体は、二成分以上の元素からなります。融点における成分の蒸気圧がシリ
コンに比べ高いため多結晶合成や単結晶成長で蒸気圧の高い成分元素が高温で蒸発した
り漏れたいしないよう、化合物半導体特有の引上法やボート法などを採用しています。
シリコン同様に高純度化が必要で成分元素の化学当量比(ストイキオメトリ)を精密に
制御する必要があります。また、シリコン同様単結晶ウエハに不純物イオンを注入して
デバイスの動作層とする場合もありますが単結晶ウエハに成長させたエピタキシャル成
長層を用いて製造され、化合物半導体の種類や応用デバイスの種類によりそれぞれ適し
たエピタキシーが採用されております。エピタキシャル製造設備も化合物半導体特有の
ものであり、単結晶製造工程とエピタキシー(エピタキシャルウエハの製造工程)があ
ります。

単化粧製造工程 
 引上法(GaAs,GaPなど) 
 ボート法(GaAs)
 ※多結晶合成、前処理、単結晶成長、スライシング、ラッピング、ポリッシング

エピタキシー工程
 液相エピタキシー(GaAs,GaPなど)
 FTE用気相エピタキシー(GaAs)
 LED用競うエピタキシー(GaAS,GaP,GaAsP)
 ※エッチング、洗浄、乾燥、エピタキシャル成長、検査

単結晶製造工程の引上法はLEC法(液体カプセル引上法)が一般的で、ボート法はHB法
(水平式ブリッジマン法)とGF法(温度傾斜凝固法、グラジェント・フリーズ法)など
があります。エピタキシー工程には目的により、液相エピタキシー、FET用気相エピタキ
シー、LED用気相エピタキシーがあります。
 この他にMO-CVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)やMBE(Molecular
Beam Epitaxy)などがありMO-CVDはLED製造には欠かせない装置にまで進化・発展を
遂げています。

MO-CVD 用ガス供給設備、流量制御設備、除害設備、MO-CVD用ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.cpo.jp
※アドレス前のCutHereはスパム対策ですので削除願います。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2011年11月13日 日曜日
 ※全国のB級ご当地グルメの祭典「B―1グランプリin姫路」兵庫県姫路市の姫路城
  周辺で開幕しおよそ20万人の来場者が見込まれております。

 天気 はれ
 気温 15℃(PM6:30)

です。


「自分事ばかりだと、不利になるばかり」


 失敗したくない

 失いたくない

 面倒なことやりたくない


 そうやって自分を守るほど

 人のエネルギー(やる気、元気、勇気、運気、幸せ...)を奪うようになり

 そうやって奪ったモノは

 すぐに、どこかに消えていく

 大切な人のために


 多少は損しても

 ちょっと大変でも

 自分ができることをしようとするから

 人にエネルギーを与えることができる


 そうやって与えたモノは

 めぐりにめぐって

 忘れた頃に

 意外な所から返ってくる

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

このページのトップへ

ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.