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CVD+PVD=プラズマCVD

2011年8月 7日 20:56

 プラズマCVDは反応ガスに熱CVDと同じものを使用しますが、熱処理
温度を450~600℃とPVDに近い低温ですので、CVDとPVDを合体さ
せたプロセスといえます。

熱処理炉では外熱式で処理品を均一に加熱昇温後に反応ガスを流します。
その後、プラズマを発生させて反応ガスをイオン化させ目的の硬質薄膜を生成
します。低温処理ですので金型材などの焼き戻し以下の処理が可能で、
複雑な形状のものでも反応ガスとプラズマにより均一に密着性の良い膜が
形成されます。膜の厚さはPVD、熱CVDと同様におよそ 2~5μmです。

用途例としてはアルミダイカスト金型、マグネシウムダイカスト金型、アルミ押出し金型
亜鉛ダイカスト金型、アルミスクイズキャスト金型、プラスチック金型、冷間鍛造用金型
各種エンプラ用金型などです。例えば、PCVD処理を金型に行う際には、
硬質薄膜なので母材が柔らかいと効果が得られず、前処理の焼入れと
焼き戻しの条件をしっかり把握していないと変形や変寸の原因になっ
てしまいます。面粗度は密なほど密着性が向上し寿命が伸びます。膜
圧は厚いと応力が溜まってしまい剥離し易くなってしまうようです。
 金型へのPVDの特徴は、膜のつきまわり、密着性が良く、高温反応
ではないので仕上がりが綺麗で、変寸・変形が少なく、外熱式昇温ガス
なので炉内成膜のバラツキが小さく、反応ガスの切替が多様なので膜形成
が容易なのです。


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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2011年8月7日 日曜日
 ※震災からの復興と鎮魂をテーマにした今仙台七夕まつりが連日70万人
  を上回る参加者を集めているそうです。祭りは8日まで行われます。

 天気 くもりのち雨
 気温 28℃(PM9:00)
 本日の東京電力最大消費率 81%(PM1:00)

です。

「食べ方を変えれば、生き方が変わる」


 自分の未来を知りたいなら

 今日のご飯の食べ方を見ればいい


 食べ方に生き方があらわれている


 食の乱れは、心の乱れ

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 命への向き合い方が

 未来を決める

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

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