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油の逆拡散(オイルバック)

2011年7月13日 23:40

真空ポンプのオイルバック(油の逆拡散)とはなんでしょう?

真空ポンプで潤滑油など油を使用しているロータリーポンプ
(油回転ポンプ)や油拡散ポンプなどは、真空排気している最
中に熱せられた油の蒸気が真空チャンバー側に(空気を吸い込
む方向と逆側)に進んでしまう現象のことを言います。

どんなに真空排気をしていたとしても逆戻りする油の分子を真
空ポンプ側に引き込むことは難しく、油蒸気は真空チャンバー
内に入り込んでしまう可能性があります。
 真空チャンバーの内壁(内面)などに油の付着物があるよう
な場合にはオイルバックの可能性が高いです。特に油拡散ポン
プは、ポンプの機構上油蒸気が常に真空チャンバー側へ回り込
んでしまう動きがあるため、吸気フランジ面に水冷バッフルや
液体窒素トラップ、冷凍機式のトラップなどを付けて真空チャ
ンバーを汚さない対策が不可欠です。
 水冷バッフルとは、凝縮性の油蒸気が飛んで来た場合に、直
線的に真空チャンバーに入らないよう抵抗になる部位に遮る板
を設けるものです。油拡散ポンプの吸気フランジ面に付けるこ
とでバッフル面で油蒸気を凝縮させ真空チャンバーへの逆流(
侵入)を防ぐのです。油拡散ポンプの性質上、ポンプの起動時
や停止時など定常運転以外のときに発生し易くので排気装置の
操作手順などもオペレートミスしないよう注意が必要です。
逆拡散の防止策としては、真空チャンバーと油拡散ポンプの間に
ゲートバルブやアングルバルブなどの遮断バルブを設けることで
油上がりを防ぐことができるのです。

真空ポンプのロータリーポンプ(油回転ポンプ)、油拡散ポンプ
(某メーカー名:ディフュージョンポンプ)など、新規購入からオーバ
ーホール、分解修理までご相談ください。
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FAX 048-281-3987
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年7月13日 水曜日
 ※サッカーの女子W杯をめぐり、ドイツ各地で飼育されているタコが
  13日午前に行った勝敗の"予言"で、日本が準決勝でスウェーデンに
  勝つとしたのは、参加7匹のうち4匹で多数派となった。
  準々決勝で日本が強豪ドイツに勝利すると事前に占った「パウルⅡ世」
  は、今回はスウェーデンに軍配を挙げたそうです。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 昼37℃、夜34℃
 本日の東京電力最大使用率 84%(PM2:00)

です。

<成長のヒント>


 必要に迫られている中に

 嫌いなもの、苦手なもの

 避けてきたものがあるかもしれない


 しかしそれは

 今までずっと先送りにしてきたのが

 今に現れているにすぎない

 これ以上

 先延ばしにするのは得策ではない

 向き合う最高のタイミングは

 常に今


 めんどくさい、やりたくない、楽しくない...

 という感情を乗り越えてみよう

 その先には

 思いもしない光景(可能性)が広がっている


 by との

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