シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

スパッタ率

2011年6月 2日 18:38

 大学実験でポピュラーなスパッタ装置は、イオンで薄膜材料の原子を弾き飛ばす
ものです。

イオンが固体表面に衝突すると
・電子反射 e-
・中性電子、分子の放出(これがスパッタ)
・+,- イオンの放出(材料分析に利用)
・光の放出
・気体の放出
・気体の分解、放出
・スパッタされた粒子の逆戻り
・拡散
・結晶変化
・加熱
・+イオン
・反射
などの現象が起きて、このうちの中性原子、分子の放出を利用して薄膜を
作ります。

1個のイオンがターゲットなどの突入すると何個の原子が弾き飛ばされるかを
表すスパッタ率は、大きい場合は小さい電流、小さい電力で少ないイオン数でた
くさんの銅原子をスパッタし、早く薄膜を作れます。金銀銅などはスパッタされ
やすく、チタン、ニオブ、タンタル、タングステンの高融点金属はスパッタされ難く、イオンと
しては不活性ガスのうちアルゴンガスが多く用いられます。ヘリウムやクリプトンなど他
の不活性ガスのイオンもだいたい同じ傾向を示します。酸化物のスパッタでターゲット
上にできた酸素マイナスイオンができると薄膜をスパッタしてしまいいろいろな問題を
引き起こすので注意が必要です。


スパッタ装置用の導入ガスである高純度アルゴン、高純度酸素ほか特殊ガスまで
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年6月2日 木曜日
 天気 あめ
 ボンベ庫の温度 朝16℃、昼18℃

です。

 内閣不信任決議案は、2日午後の衆院本会議で採決が行われ
与党の反対多数で否決されましたね。

先立って行われた民主党の代議士会で菅直人首相が東日本大震災
からの復興にメドがついた段階で辞任する意向を表明したことで
想定されていた民主党内からの大量造反はかろうじて回避された
ようです。

 投票総数は445票で、反対293票、賛成152票。

圧倒的大差で否決されました。

ちなみに・・・

小沢一郎元代表を含む20人近くが採決を棄権したそうです。


選挙と言われても実質的には不可能な避難民10万人のうち
小沢氏の地元岩手でも、懐疑的な声が聞こえています。


不平・不満・愚痴・泣き言、悪口・文句は置いておいて
妥協の無い、ただ今、出来る、最大限のことをしましょう!

 by との

このページのトップへ

前の記事:合金
ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.