シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

真空容器のリーク

2011年5月 9日 18:52

真空容器は完全ではなく微少リークが少なからず存在します。

それは・・・。

体積1L の真空容器(真空チャンバー)を排気速度 1L/sec の真空ポンプ
で排気すると、約30秒ほどで 10 -9 Pa の超高真空まで到達するはず
です。でも、実際にはそれほどの良い真空域まではいきません。

それは次の原因によるものです。

1、漏れ(リーク)
   容器に開いている小さな穴から、大気側より空気が入ってきて
  しまうためです。

2、透過
   鉄やステンレス製の真空チャンバー壁面とはいえ、気体が通過します。
  ヘリウムガスはガラスを透過しますし、水素は金属を極微少ながら透過
  させます。ヘリウムガスがゴム風船の膜を通過して萎んでしまうのは
  透過によるものです。

3、容器壁面の吸蔵ガス
   真空チャンバーの壁面母材のなかには、いろいろな要因でガスが吸着
  され内蔵されています。これがダラダラと放出される傾向がありま
  す。

4、表面の吸着ガス
   目で見て乾いているように見える真空チャンバー内面でも、その表面
  には大量の水分が吸着しています。

 真空排気をはじめると、チャンバー内の圧力は一気に下がり 10 -1 Pa になる
と反比例の曲線を描きながらゆっくりと下がり、10 -3 Pa で一定値に落ち
着きます。
 このときのチャンバー内の真空度の変化は、10 -1 Pa あたりからガス放出の
影響が出始めます。圧力と時間の反比例関係は吸着ガスの離脱が排気速度を
律速している故です。また、 10 -3 Pa でガスの放出と大気からの流入が
排気速度とちょうどバランスが取れると釣り合いが取れます。このとき1L/sec
の排気速度の真空ポンプで排気していて 10 -3 Pa までしか容器の圧力が下が
らないときには、単位時間に放出するか流入するガスの量が 10 -3 pa ・L / sec
ということです。要は 1気圧(1atm)で 10 -8 L / sec (約 1cm2 /day )と
いう微量です。真空排気の途中で容器をベーキングすると、吸着ガスや吸蔵ガスが
放出され、ベーキングを終えると排気特性が一気に向上するものです。
 チャンバー内の残留ガスを分析するとリークの原因を突き止めることができます。
残留ガス分析計のデーターを見ると、高真空ポンプの特性で油拡散ポンプもクライオ
ポンプも残留ガスのほとんどが水分です。その代わり、油拡散ポンプでは炭化水
素の質量数50 以上が多く検出されますが、クライオポンプではまたく検出されませ
ん。クライオポンプがクリーンな真空を作るのに適したポンプといわれる所以です。


真空ポンプのオーバーホール、定期メンテナンス、故障の修理など
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年5月9日 月曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝21℃、昼25℃、夜28℃

です。


中部電力は菅直人首相が要請していた浜岡原発(静岡県御前崎市)のすべての
原子炉の運転停止決定しました。
地震・津波対策に2~3年かかるため、その間に発電することができなくなります。

東京電力管内だけでなく中部地区も含め、夏場の電力供給が逼迫(ひっぱく)
することになりました。

節電、省電力がこれからは必至になりそうですね。

 by との

このページのトップへ

ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.