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ドライポンプ

2011年1月13日 23:36

 低真空領域でオイルバックなどがなくクリーンな真空雰囲気を
作ることができるのがドライポンプ(Dry-Sealed Vacuum Pump)
です。

このタイプのポンプの構造は、ローター間またはローターとケー
シング間の隙間の漏れを少なくして真空排気効率を向上させるた
めに、油膜または水で封止するウエット型のポンプと異なり、プ
ロセスガスを排気する真空排気の内部経路内に、油や水を一切使
用しないポンプのことをドライポンプ(Dry Pomp)と言います。

半導体産業が急速に発展した1980年代後半からウエハー上の回路
微細化や薄膜作成のためのハードプロセスガスの利用が広まること
によってドライポンプの必要性が広がりました。それまでのロータ
リーポンプなどでは、油分のオイルバック(油の逆拡散)が品質の
歩留まりを悪化させる要因となり、また、プロセスガスがシール液
中に混入することで油が汚れて頻繁に交換する必要があったり、ポ
ンプの設置場所がオイル漏れなどで汚染されるなどのデメリットが
あったためとされております。

半導体産業で使用されたドライポンプは、大気から 0.1~1 Pa程度
まで排気が可能で、ポンプ内部のプロセスガスとの接触部に油を使
用しないポンプです。

 ドライポンプにもその構造により以下のタイプに分けられます。

・多段ルーツ型
・多段クロール型
・スクロール型
・スクリュー型

どの機種も直結型モーターによる軸受部やタイミングギヤ部に潤滑
油を使用していますが、この油の蒸気やミストが真空排気して吸引
したプロセスガスと接触することが無いようにN2ガスでシールする
などの工夫が凝らされております。

その中でもスクリュー型は、粉や固形物(デポ物)の混入に対して
極めて強く、また、基本的にメンテナンスフリーであり、腐食系ガス
などにも対応機種が広がっているためハードプロセスや一般産業用で
も真空排気するガスにゴミや不純物などの混入がある場合には絶対的
な信用のあるポンプです。

スクリュー型ドライポンプや他ドライポンプのオーバーホールなどの
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 048-282-3665
E-Mail:CutHere_info@klchem.co.jp


ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年1月13日 木曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝2℃、夜4℃

です。

「世の人はわれを 
 なんともいはばいえ
 われがなすこと 
 われのみぞしる」
 (by 坂本龍馬)

これが坂本龍馬の精神です。

龍馬は、あれこれ凄いわけですが、先ずは「脱藩」という
一点においても、本当に凄い。

当時、生まれた藩を出る「脱藩」と言う行為は、死罪になる
こともある大罪です。

さらに、その罪は親類縁者までに及びます。
龍馬が脱藩することで、名家、坂本家がおとりつぶしになる
可能性だってある。

「しかし、日本を変えるためには、自由を確保するには
 脱藩しなければいかんぜよ。」

司馬良太郎さんの「竜馬がゆく」では、この場面が
次のように描かれています。

「脱藩すればもう二度とお国に戻って来れませんよ。
 権平兄さんとも、乙女姉さんとも、あなたが可愛がっている
 姪の春猪とも、生涯会えませんよ。
 むろん脱藩人にうちからお金を仕送るわけにもいきません。
 どこぞの野末でのたれ死にしてもどう仕様もないことです。
 そのことお覚悟はありますか?」

「龍馬、覚悟はあるのか?」

お姉さんからそうたずねられます。

龍馬は、答えました。

「そりァ、俺、男の子じゃんもんな。
 志のために
 野末で野垂れ死にするのは
 男子の本懐じゃと思うちょります」

日本の未来のために、この命を使えるならば
自分が不幸だろうとも、本望だ!

これが龍馬の志です。

龍馬は脱藩するとき、周りに、次のように言って出掛けたと
土佐では伝わっています。

「桜を見にいく」
(ひすいこたろう著 名言セラピー幕末スペシャルより)

 by との

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