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SEM・TEM・FIB 周辺機器

2010年9月 2日 21:31

SEM/TEM/FIB周辺機器のご紹介です。

エルミネット 1.jpg
モジュラーコーティングシステム Q150Tseries by 英国エミテック社製
 FE-SEM アプリケーションに適した高性能超微細コーティングシステムです。
高真空排気に70L/sec 空冷ターボ分子ポンプを搭載し、すべてのコンポーネント
を頑丈なモールドケースの中に納めました。自動流量調整器により選択可能な
最適コーティング環境を作り出します。コーティング後の真空保持機能、膜圧計
による膜圧制御が可能です。交換可能なヘッド部をお選びいただくことで、スパ
ッタコーティング、カーボンおよびメタルエバポレーションが行えます。

高性能 Cryo-SEM 装置 PP3000T by 英国ポラロン社製
 液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察
を行う装置です。精密なガス流量調整機能やCryo-SEM に最も必要な温度コント
ロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM
観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感
な半導体材料などの測定に活用されています。

ガスインジェクションシステム OmniGIS by 米国Omniprobe社製
 OmniGISは、FIB装置、電子顕微鏡や真空装置の最新ガスインジェクションシス
テムです。主なアプリケーションは真空装置内でのALDアプリケーション、SAMS
アプリケーション、ガス導入による表面状態観察、Ptデポジション、Wデポジション、
SiO2デポジション、Cデポジション、ナノリソグラフィーなど。

SEM Picolndenter PI85 by 米国HYSITRON社製
 SEM装置内でナノメカニカル試験の直接観察を可能にした世界初の完全独立
型深さセンシングインジケーター装置です。試料の変形や破壊といった機械特性
の過程の測定が行えます。この画期的な能力によりナノインテグレーション中の
マイクロストラクチャーのより進化した研究を可能にします。

エルミネット 2.jpg
電子検出器 Generation5 by 英国KEデベロップメンツ社製
 STEM検出器は明視野、暗視野イメージを表示します。BSD検出器では、優れた
解像度0.1Z(Z=30にて)で4分割検出器、ブロードバンドTVオペレーション、低ノイズ
スロースキャン、その他プローブカレントメーター、IRチェンバースコープなどです。

真空マイクロウェーブプロセッサー H2850 by 英国エミテック社製
±0.5℃の温度制御で、真空排気及びガス導入が可能な多目的真空・ガスポート
を搭載し、40通りのプログラム処理の登録が可能です。主なアプリケーションは、着
色、攪拌、脱泡、硬化です。

マグネティックフィールドキャンセリングシステム SYSTEM SC22 by SPICER CONSULTING社製
 電子線を使用する装置周辺を安定した磁場環境に保つ磁場遮断装置です。
ACフィールドのモニター及び遮蔽、ローコスト、ハイパフォーマンス、自動化された
遮蔽条件設定、0.5Hz~5kHzのACフィールドに対応、3軸(X,Y,Z)フィールドモニター

クリスタル・コールドカソードコンビネーションゲージ CC-10 by 東京電子製
 CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ12桁の圧力範囲(1.0x10-7Pa~
1.0x105)の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまでは、クリスタルゲージ、1Paから10-7まではコールドカソードゲージ
を使用し測定します。センサー、回路部、ディスプレー一体型により、本製品のみで圧
力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。また、CC-10は、デジタル通信
RS485を標準装備し、欧州規格EN(CE)に対応しております。CC-10はRoHS規格に
準拠した環境に優しい製品です。

小型プローブカレントメーター PCM by 英国デベロップメンツ社製
 電池駆動式でピコアンペア測定が可能です。サイズ130mm(W)x70mm(H)x115mm(D)
内蔵電池単三アルカリ電池4本、1pA~2μAを5レンジ 誤差±2~5%(f.s)で3.5桁表示します。
自動ゼロ点調整(残差25℃にて5pA以内、100μA以上の過電流にも耐える入力設計です。

ガス・真空・低温を利用したオーダーメイド機器の設計、製作、改造、修理まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 9月2日 木曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃

です。


「貧乏と、屈辱と、嘲笑と、そして明日の望みのなくなったときこそ
                            初めて我々は人生に触れるのだ」

「人間は調子のいいときは、自分のことしか考えないものだ。
 自分に不運がまわってきて、人にも世間にも捨てられ、その日その日の
 苦労をするようになると、はじめて他人のことも考え、見るもの聞くものが
 身に滲みるようになる」

山本周五郎著 柳橋物語より


 by との

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