シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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低温および高温の温度調節機器

2010年8月31日 19:23

 液化窒素や電気式冷凍機の低温から排熱やヒーター加熱した温度
コントロールをチラ―・ヒートエクスチェンジャー・熱交換ユニット
などで様々な条件から最適な設定温度に調節する装置等をご提案致し
ます。


MK3.jpg
チラー及びヒートエクスチェンジャー
 半導体プロセス装置の処理部を温調冷却 (+70℃~-200℃)するユニットです。
液冷媒は純水から各種フッ素系液媒体まで、フロン規制の他、各種規制
を考慮し、省エネ、小型化、能力優先など目的を絞ったアレンジメント
が可能です。


MK1.jpg
チャンバー冷却用・コールドトラップ用冷却ユニット(上段:蒸着装置用冷却ユニット)
特殊冷凍機(下段:研磨用スラリー液を冷却するユニット)

循環液を使うチラーやヒートエクスチェンジとは別に、冷媒で直接チャ
ンバーを冷却し、ポンプのオイルミストや水分を吸着させ、真空度を上
げる用途としてのユニットも製作可能です。
また、各種ケミカル、各種ガスの冷却装置もご相談ください。


MK2.jpg
熱交換ユニット・温調制御装置
液体や気体の熱交換ユニットや、半導体プロセスなどで400℃になった
排ガスを40℃以下の安全な温度に冷却するユニットなど製作可能です。
更には、真空チャンバー内の結露を防ぐために一定温度の温水を循環さ
せるユニットなどございます。


装置の設置工事・配線工事、ガスや冷却水の配管工事・特殊配管製作まで
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 8月31日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝30℃、昼37℃、夜35℃

です。


暑いです!

暑いですけど、ここ数日、朝と夕に微かに、涼しさを感じさせます。

伊豆の海岸沿いに住む友人は、毎日夕方の海に入って涼んでいるのですが
先週辺りから海水温が冷えてきて、午後5時に入ると身体が凍えるのだ
そうです。

秋が来ますよ、秋が!

 by との

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