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■除害装置を導入する時に必要な情報 (排ガス処理)

2010年7月28日 18:25

 連載ブログ「排ガス処理」「精製ガス」の第十回目になります。
今回は「排ガス処理」の第六話になりますね。

それでは藤村Fさん、お願い致します!


■除害装置を導入する時に必要な情報

 今回は除害装置を購入する際に、除害装置メーカーに提示する必要
のある項目を勉強しましょう!

まずは、皆様が購入しようとしている製造装置のメーカーが標準として
いるガス仕様を確認して下さい。

一例を示しておきます。

 ・Aガス 300SCCM
 ・Bガス 500SCCM
 ・Cガス 200SCCM
 ・窒素ガス 800SCCM(プロセス用)
 ・窒素ガス 20,000SCCM(ポンプ保護用)

通常、使用流量はマスフローコントローラー(MFC)の最大流量を教えて
くれると思います。
※マスフローコントローラーの解説はこちら ⇒ http://www.klchem.co.jp/mfc/ まで。

そして思わぬ落とし穴が『窒素ガス(ポンプ保護用)』です。

この窒素ガスも除害装置に導入されるので、忘れずに提示してあげましょう!
これらのガスは本来であれば、製造装置内で仕事をして製品になるのですが、
全量のガスが製品になる訳ではありません。

では、どれ位が製品になるのでしょうか?

ご存知ですか?


 様々な種類の製造装置があるので、一概には言い難いですが、数%~50%
が製品になるそうです。意外と効率が悪い物ですね?だから、除害装置が売れ
る訳なのです。

話が逸れましたが、製品にならなかった残ガスを処理するのを目的として除害
装置が必要になっています。しかし、先程若干触れましたが、製造装置内での
効率は処理装置のメーカーでは正直判りません。同じ製造装置の型式であっても、作る製品によって効率が変わる物なのです。

よって、除害装置メーカーは製造装置に導入するガスが全く製品に変化せずに
排出された状態で機種選定して来るはずです。

これで当初計画している予算に納まれば良いのですが、納まらない時はどうす
れば良いのでしょうか?

次は、MFCの最大流量ではなくて、実使用流量を提示しましょう!
そうすると大抵の場合、最大流量の2/3以下程度になり、それに伴って除害
装置も小さい型式が選定して来るはずです。それでも、予算に納まらない場合は、複数の除害装置メーカーから見積を取ってみたり、意中のメーカーに値引
交渉するしかないですね!

でも、あまりメーカーさんを困らせない程度にしましょうね!

今日はここまで!

次回は第1話に関連しますが地球温暖化対策の法律(その1)を紹介します。

お楽しみに!!(^O^)/=

 by 藤村F


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ご相談下さい。
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