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■半導体材料ガスの除害の始まりとTLV値に関して (排ガス処理)

2010年6月23日 20:09

 「排ガス処理」と「精製ガス」のブログ第五回目です。
本日は、「排ガス処理」の藤村Fさんによる講義第三話に
なります。

それでは参りましょう!


■半導体材料ガスの除害の始まりとTLV値に関して

いきなりですが、ここで代表的な2社の除害装置の始まりを紹介します。

 A社 1966年頃 アルシン、水素化テルル、スチビンの製造・充填工場
   にて漏れてくるガスから作業者を守る為に開発されました。

 B社 1953年頃 アセチレン製造工場にて副生成物のホスフィンガスから
   作業者を守る為に開発されました。

いずれも、危険な毒性ガスから作業者を守る為に自家消費用として開発され、
その後、販売を開始しています。最初は水冷式との組み合わせで水関連のト
ラブルなどが多発して対応に追われていたそうです。

現在では、湿式、常温吸着式、加熱吸着式、燃焼式、プラズマ式、電気加熱式など多種多様な機種が販売されています。各種処理方式毎のメリット、デメリットは別の機会にお話します。

ところで、高圧ガス保安法上の『毒性ガスの定義』ってご存知ですか?

『じょ限量が200ppm以下のガス』と定義されています。
ここであまり使われない用語が2つ出てきました。

その用語に関して解説します。

まずは『じょ限量』です。
 通常、『1日8時間労働しても人体に影響がない』濃度の事を示す、米国産業衛生専門家の機関が決めたTLV-TWA値(一般的にTLV値)を採用しています。毎年TLV-TWA値は改定されており、毒性ガスでないガスが毒性ガスになったり、毒性が厳しくなったりしています。最近ではアルシンガスのTLV値が0.05ppmから0.005ppmに改定されました。

あっ!そうそう、ここで2つ目の用語解説です。

ppmってなぁにぃ?』

 Parts Par Million(百万分の一)の英頭文字を取ってppmと表記しています。
先程出てきた『0.005ppm』とは、10億分の5と言う事になります。
インドの人口が約11億人なので、この中の5人がアルシンだと、ヤバい状態と
なります。(決してインドの方々に悪い人がいる訳ではありません)

皆様は10億人の中から5人を見つける事は出来ますか?

私は目が悪いし、そんな気力はとてもありません。

今日はここまで!

次回は除害装置の原理に関して(その1)を紹介します。
お楽しみに!!(^O^)/=

 by 藤村F

いよいよ排ガス処理の実務に近づいて参りました。
また、再来週が楽しみですね!


排ガス処理装置、排ガス処理ダクト配管工事など
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TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市ののお天気は?
 6月23日 水曜日
 天気 雨のち曇り
 ボンベ庫の温度 朝23℃、昼23℃、夜24℃

です。

「光化学スモッグ」とは?

6月から真夏にかけて風が弱く、晴れて暑い日に発しし易くなります。
工場や車の排気ガスが太陽の光で化学反応をおこして発生する
有害物質のことをいいます。

これに曝されると、目や喉が痛くなり、吐き気をもよおすこともあります。
光化学スモッグ情報が発令されたら屋外に出ないようにしましょう!

 by との

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