シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

モノシランガス容器交換中の爆発事故

2010年3月21日 23:52

モノシランガス容器交換中の爆発事故について、ご紹介いたします。

発生場所   1996年12月
発生場所   静岡県
ガスの種類  モノシランガス
事故の概況
 半導体製造工場でシリンダーキャビネット内のモノシランガス容器
(容量47L)2本のうち1本を交換し、当該配管系のヘリウムリークテ
ストを実施しました。このリークテストは自動制御されており、開始から
12時間後の圧力差が0.5kg/cm2以下ならば合格を表示するシステ
ムになっていました。実際には、試験開始10秒後に圧力が5kg/cm2
以上あったものが直後に -0.5kg/cm2になっており、また、12時間
後の圧力が -0.4kg/cm2であることから、圧力差が合格判定基準内
に入っており漏洩ガスが無いとコンピューターが判断したものでした。
その後、窒素置換が完了し、モノシランガスによる実ガスパージに入っ
たとき、容器バルブの連結管袋ナット部からガスが漏洩し、キャビネット
内に充満して爆発しました。袋ナットの締め付けが不十分であったと考
えられます。

被害   死亡 1名

原因
 設計・構造上の不良(自動シリンダーキャビネットのチェック機能)、点
検不良(袋ナットの締め付け不良)

教訓と今後の対策
1、信頼性の高い自動シリンダーキャビネットの(漏洩チェック)の採用
2、納入される容器はニューマチック容器弁(窒素ガス仕様)付きとする
3、使用するガス量が小さいので、漏洩した時を考慮してオリフィス内蔵
  付き容器の採用
4、使用中容器の袋ナットを誤って開けない構造及びシーケンスの採用
5、シリンダーキャビネット以外の遠隔操作室の設置
6、シリンダーキャビネットの天井部への吹き抜け口の採用
7、キャビネット内には同一ガスしか収納しない
8、安全に係る作業はダブルチェック体制とする

事故の教訓
1、容器の交換作業は、特殊高圧ガスに対する社内の専門教育及び訓練
  を受けた者が実施する
2、納入された機器について、メーカー側に任せたままにせず、その機器
  及び信頼性について確認する

以上です。


高圧ガスのご用意、高圧ガス機器の選定、高圧ガス配管工事の施工まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 3月21日 日曜日
 天気 くもり
 気温 6℃(PM11:30)
です。
 昨晩からの強風で、早朝からJR京浜東北線、武蔵野線などが
運転を見合わせておりました。
台風のような強風で、植木が倒れたり、何処かの家のバケツなど
プラスチック製品があちこちに吹き飛ばされて散乱しておりました。
また、駅周辺の駐輪場の自転車がことごとく倒れており、中には
風の勢いで一回転しているものもありましたね!
自然はすごい力を秘めているなと実感しました。
 by との

このページのトップへ

ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.