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第75夜 メタルシールって堅物？ ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ・ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ
手動でガス流量を設定する測定器は数多くありますが、任意の設定値に対し
自動で流量を制御してくれるガス流量制御機器にはＭＦＣが最適です。
ＭＦＣを初歩から応用まで解説する連載シリーズ第七十五回目となります。
それでは講師の Decoさん よろしくお願い致します。
第75夜 メタルシールって堅物？
皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語 第75夜です。
今年も師走を迎えましたね。早いもので2009年も残り30日。12月はどうもDecoは
大忙しなことが多いのですが、この業界で仕事をして初めてというくらい、のんびり
した師走を迎えそうです。たまにはいいかなぁ〜と思いつつ、朝夕の寒さに震えて
います。皆さんもインフルエンザや風邪にはご注意を・・・
さて、今夜はエラストマーシールに対して、もう一方のシールの雄、メタルシール
の登場です。名前の通りメタルですから硬そうなのですが、はたしてどういうものな
のでしょうか？そもそも、メタルシールのMFCが世に出たのは、そんなに古いこと
ではありません。半導体製造装置に種々使われるガスの中には、非常に毒性の
強いガス、腐食性の強いガスが多々あります。そういった強烈なガスに立ち向かう
には、残念ながらエラストマーシールでは限界があります。そこで採用されたのが
メタルシールという、名前の通り金属を材料とし、その弾性を利用したシールです。
メタルシールはエラストマーシールなどでは使用が困難な、超高温・極低温・腐食
・高圧力・真空 などの悪環境下で使用可能です。その為、今や半導体プロセスガ
ス用で使用されるMFCの殆どはメタルシールモデルだと言っても過言ではありませ
ん。
メタルシールに使用される材料は、MFCのボディの接ガス部品材料であるSUS316L
インコネルなどがあります。ごく希に異なる金属を使用する場合もありますが、ボディ
材質とシール材質が同じな訳ですから、逆に言えばMFCのボディ材質が腐食するよう
なガス以外には使用できると言うことになります。そういう意味ではエラストマーシール
よりも、ガスの特性によるＯリング選択にナーバスにならなくて済む・・・とも言えます。
ただ、その分メタルシールのMFCにはデメリットもあります。それはシール性能にでは
なく、そのコストにあるのです。最近ではかなり安くなってきましたが、メタルシールの
半導体プロセスガス用のMFCはエラストマーシールの汎用品より1．5〜2倍くらいは高
くなります。これはシールがメタルになったからだけではなく、製品パッケージとして表
面処理や接ガス部品構成まで異なるためですが、同型式・同構造でメタルシールモデ
ルとエラストマーシールモデルをラインアップしているメーカーの価格を見ても、数万〜
十万円レベルの差が出ます。これはなぜかというと、シールの単価そのものよりも、メタ
ルシールを使用する箇所の形状、仕上げ、手間によるものです。
メタルシールは多くの場合、継ぎ手側フランジと、ボディに挟み込んで、決められたトル
クで四隅を締め付けるような形で運用されます。この時、シールを挟み込むフランジと面
とボディの面はきっちりと水平が出ているだけでなく、ピカピカの鏡面にラッピング（研磨）
されている必要があるのです。そこまでに仕上げた金属表面は合わせれば吸い付くよう
に合わさります。この間にメタルシールを挟むことで、そのラップ面に傷を付け食い込ま
せることでシールとして機能するのです。当然、組み立て作業も難しくなります。せっか
くのラップ面に傷を付けたらおしまいですから・・こういった加工費用、工数が乗ってくる
から、メタルシールのMFCは高価になるのです。なかなか言い仕事はするけど、高く付く。
メタルシールは一筋縄ではいかない職人気質の堅物なのかもしれませんね。
それでは、また来週！
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ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
１２月２日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝６℃、昼８℃、夜１０℃
です。
都内の皇居周りの銀杏が綺麗に紅葉していて綺麗です。
カメラを手にした見物人もチラホラ見受けられましたね。
投稿者: 管理人 日時: 2009年12月 2日 08:42 | 固定リンク：第75夜 メタルシールって堅物？ ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ・ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ