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第74夜 エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・ ＭＦＣ／ＭＦＭ
半導体から液晶、太陽電池に至るまで、成膜装置の原料ガスや
液体が気化した流体を制御するのは、マスフロコントローラーが最
適です。そのＭＦＣを基礎から応用まで解説するシリーズ第七十四
回目の始まりです。
第74夜 エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・
皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語 第74夜です。三連休に
温泉宿に行ってきました。奮発してスイートを抑えたのですが、部屋
の調度から料理、お風呂に至るまでなかなか行き届いたサービスを
満喫してきました。もてなす側の隅々までの細心の心遣いが感じられ
ました。
さて、今夜はエラストマーシールのまとめです。簡単にエラストマーと
言っても色々あり、注意を怠るとDecoの経験した怪談のように大変な
トラブルを招きかねません。流体とシール材の材質のマッチングは大変
重要な要素になりますね。
ところで現場でたまに見かける光景ですが、エラストマーシールのMFC
の継手を、ユーザーさんで手軽に交換されているケースがあります。確か
にスパナやモンキーさえあれば、簡単に継ぎ手を外せるのがエラストマー
シールタイプのMFCの特長です。MFCのボディには例えばUNF9/16 サイ
ズの雌ネジが切ってあり、そこに市販の雄ネジをねじ込めばすぐ交換でき
ます。大学など研究室などで1台のMFCを複数の実験ラインへ流用される
こともあるかと思います。その際に「わざわざメーカーに交換を依頼しなくて
も、ＤＩＹ的に・・・」と考えられるのはわかりますが、ちょっと待ってください！
MFCメーカーでは出荷前に必ずＨｅリークディテクター等でリーク試験を
行っています。中には組み立て時に1回、出荷前の検査でも1回と念には
念をいれているところもあります。これはMFCからのガスリークがどれだけ
深刻な問題を引き起こすかを、メーカーは自覚しているからです。継手を交
換される際にＨｅリーク試験までされる方は少ないのではないでしょうか？
適正な締め付けが行われなかったが為に、水素が漏れ出したらどうなるで
しょうか？
うっかり仮締め状態でＰＨ３のような毒性ガスを流したら・・・
今回は窒素だから大丈夫・・・
と思っていたら、居室に窒素が充満して酸素欠乏になってしまうことだって
あるのです。
もちろんそういった「改造」作業を施したMFCはメーカーからは何の保証も
受けられないことも、改めて認識いただく必要があります。気軽に使用される
エラストマーシールのＭＦＣですが、以下の事に注意しましょう。
１、使用する流体、用途を明確にし、適切なシール材質をメーカーに選定してもらう。
２、ガスの特性がよくわからない場合は、無難なメタルシールを使用した方がよい。
３、リーク性能はメタルシールタイプと比べると、低いので過信しない。
４、継手交換等は、些細な作業でもユーザーで行わず専門家に任せる。
皆さん、たかがMFC、されどMFC。選定にも気を使ってあげてくださいね。
それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
ＭＦＣを侮るなかれ。原料の純度以上に肝心要なレシピに係ることも
多々あります。ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰのことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
１１月２５日 水曜日
天気 雨のち晴れ
ボンベ庫の温度 朝１０℃、昼１０℃、夜１２℃
です。
鳩山総理大臣の政治資金規制法に反する行為かどうか？
巷を騒がせていますが、目の前の課題、宿題、緊急を要する
事件事故は待ってくれません。
党や議員自身の私利私欲もちろんも大切でしょうが
国民不在の国会運営は必要最小限にしてもらいたいものです。
投稿者: 管理人 日時: 2009年11月25日 23:39 | 固定リンク：第74夜 エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・ ＭＦＣ／ＭＦＭ