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MOCVD装置とは?

2009年10月15日 21:31

 真空装置のなかでも今が旬の、LEDを作るための装置としてMOCVD装置
(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)が広く使用されています。

MOCVD装置は、熱CVDの一種ですが原料ガス状物質として、有機金属化
合物系を利用し、金属、化合物半導体、絶縁膜薄膜を形成するCVD装置です。
基本的な構成は、他の熱CVD装置と同じだが、有機金属化合物を使用するの
で、原料ガスの供給方法に工夫が必要とされております。一般的には、水素ガ
スをキャリアガスとして利用し、液体状有機金属化合物をバブリングして、その
蒸気を含ませたガスと水素化物ガスを反応室で熱分解させています。エピタキ
シャル成長を目的としたCVD装置をのことを特に有機金属気相エピタキシャル
成長装置、MOPPE装置、OMVPE装置などと呼ばれております。


MOCVDに必要な有機金属化合物材料やキャリアガスの水素ガス、汚染されて
メンテナンスが必要な真空ポンプやチャンバーの無害化洗浄(クリーニング)まで
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談下さい。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 10月15日 木曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝15℃、昼19℃

です。
 首都高速両国線から建設途中の新東京タワーになる
「東京スカイツリー」が見えました。まだまだ基礎に近い
階層ですが、あっという間に天高くそびえることでしょうね!
東京スカイツリー.jpg




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