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パージメーター(流量計)の構造

2009年9月25日 21:57

 ガスの流量制御には欠かせないパージメーター(フローメーター:浮き子式流量計)
はどんな構造をしているかご存知ですか?

見たことないので分解しちゃいましょう!

流量計分解1.JPG
標準的パージメーター

先ずは、正面の透明のカバーと両サイド(左右側面)のカバー、それに
奥面(写真では黄色いプレート)を +ドライバーで緩め外してみます。

流量計分解2.JPG

 いきなり心臓部があらわになりましたね。
(この分解方法は正規の分解組立とは異なりますので、真似しないでください。)

 次に中心部の流量表示が目盛りで刻んであるガラス管はどのように固定されて
いるのでしょうか?


流量計分解3.JPG
流量計分解4.JPG
流量計分解5.JPG
流量計分解6.JPG

1、ブロックにある六角穴付きボルトが見えますね。これを押し込む方向とは逆に

 手前側に出っ張らせてみましょう。

2、ガラス管を押し当てていたシール部分も一緒にガラス管から遠ざかり、ガラス管が

 ポロッと落ちます。

3、ガラス管は、上下両端のブロックに押しネジ(六角穴付きボルト)で挟み込まれて

 固定されていたんですね。

4、ガラス管が押し当てられる両方の接触面はゴム製です。ガラスとゴムが押し付け

 られてシールされているんです。

 ですからパージメーターは漏れることの無い構造ではないため、毒性ガス
などには適しません。ヘリウムリークディテクターなどでリークが出てしまうのもうなずけますね。
そのような場合はマスフローコントローラーなどをお勧め致します。


流量計分解7.JPG

パージメーターのガラス管

ガス種、流量、設定圧力などによりその形、大きさなどはさまざまです。

流量計分解8.JPG
ガラス管の目盛りの脇には、メーカーにより異なりますが、大抵の場合
・ガス種
・設定圧力
・設定温度
・流量単位
などが記されています。


流量計分解9.JPG

ガラス管の中に銀色のボールが入っています。

ガスがガラス管下部からこのボールを吹き上げて、プカプカ浮いた状態で

安定したところがその実流量になるわけです。

ガス種により、サファイヤ製の赤いボールだったり、形がコマ型をしていたり
流量計の仕様によってこれもさまざまです。

以上がパージメーターの基本構成です。
前もってお断りしておきますが、分解して組み立てることが出来たとしても
その流量が正確に表示されているか保証の限りではございませんので
ご了承ください。また、上記の分解を奨励するための説明ではありません。
組立方法が適正でないとガラス管が割れることも良くあります。洗浄など
パージメーターを分解する必要がある場合は、メーカーさまにご相談ください。


パージメーター(フローメーター)式流量計のことなら
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ちょっと遅い中秋の名月を楽しみましょう!
 

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