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マスフローのハンチング

2009年9月16日 08:58

あれれ?


マスフローコントローラーが、上手く流量制御できてないぞ!

2009.09.16MFC.jpg
MFC ハンチング症状の出ている制御画面


そもそもハンチングって何?


マスフローコントローラのトラブル ハンチング(オシレーション)症状とは

通常のマスフローコントローラ(他メーカーの物も含む)であれば、製作仕様

と「圧力(入口/出口圧、差圧などの)条件」が違う、そもそも「流体が違う」など

が主な原因として考えられます。

製作仕様によって、コントロールバルブ内部のオリフィス径が決まってきます

ので、当然、圧力・流体などの条件が違えば、動作が緩慢になったり、

ハンチングを起こしたりする原因になります。


マスフローメーカーの製品毎に、ハンチングに対する症状の出方は変わります。

例えば、差圧条件の制限が 0.3MPa までが一般的ですが、某社は最大40MPa

使えてしまったり、事実上圧力条件による影響が少ないので、現象は稀なケース

となる機種であってもハンチングは起こる場合があるのです。


それに!

ハンチングでMFC の動作がおかしからとメーカーへ返却し、分解修理をしてもらっても

メーカー工場では製造仕様にて検査しますので、現場と同じ現象を再現できずに

「問題無し」 として戻って来るのです!


このようなトラブルが起こった場合には

できるだけ現場で症状や原因を把握できることが大事になってきます。

MFC / MFM / APC のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。

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 9月16日 水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝21℃、昼27℃、夜26℃

です。
 いよいよ民主党鳩山政権のスタートです。
アメリカの政権同様、いままでの自民党による
変えられない体制を刷新することに国民が期待しての
政権交代です。
いずれにしても大きな変化の訪れになります。

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