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理化学機器の真空排気ポンプ

2009年7月 7日 19:41

 真空を利用している装置には、必要な真空度によってそれぞれ
さまざまな真空排気ポンプが利用されています。主だった装置と
その真空度、真空排気ポンプの組み合わせを見てみましょう。

・透過型電子顕微鏡
  高真空領域 ロータリーポンプ(RP)+油拡散ポンプ(DP) or ターボ分子ポンプ(TMP)
          ※電子源により低振動で10-6Paが必要

・走査型電子顕微鏡
  高真空領域 ロータリーポンプ(RP)+油拡散ポンプ(DP) or ターボ分子ポンプ(TMP)
          ※電子源により低振動で10-6Paが必要
          ※試料室のオイルバックは禁物

・Field Emisson型走査型電子顕微鏡
  電子源:超高真空 スパタイオンポンプ(SIP)
              ※電子源により低振動で10-8Paが必要
   その他:高真空   ロータリーポンプ(RP)+油拡散ポンプ(DP) or ターボ分子ポンプ(TMP)

・オージェ電子分光器、光電子分光器
  超高真空領域 ソープションポンプ(SP)+スパッタイオンポンプ(SIP)
            ロータリーポンプ(RP)+ターボ分子ポンプ(TMP)
   ロータリーポンプ(RP)+油拡散ポンプ(DP) +特殊トラップ
            ※ベーキングを行う10-9Pa超高真空システム

・二次イオン質量分析器
  イオン源:中真空 ロータリーポンプ(RP)+ターボ分子ポンプ(TMP)
  その他:超高真空

・質量分析器
  高真空領域 ロータリーポンプ(RP)+油拡散ポンプ(DP)
        ロータリーポンプ(RP)+ターボ分子ポンプ(TMP)
          ※オイルバック厳禁で10-7Paが必要

 特殊な分析装置になると独自の試料室などがあり、それぞれ
真空雰囲気はガス導入の際の水分などを嫌う場合も多いようです。

真空ポンプ、真空計、真空チャンバー製作、改修、改造など
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 7月7日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝24℃、昼32℃

です。
 埼玉は夜になり風が強くなっています。
星は見えるかな?天の川は見えますかね?
きっと一年越しのデートの約束を、果たせたのでしょう!

   

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