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ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？ MFC・MFM
ガス流量制御機器の汎用機でもあるマスフーロコントローラー
を解説する第四十五回目のお話です。
それでは講師の Decoさま 宜しくお願い致します。
第45夜 ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第45夜です。
このGWは高速料金1,000\の効果で、各地で例年以上の大渋滞
が発生しているようです。渋滞情報のHPがパンクするくらいのアク
セスだったとか・・・一方、こちらではMFCがパンクしそうになる状況
のお話が続いていますね。
さて、今夜もMFCのハンチング現象に関してお話しましょう。前夜、
圧力条件のお話をしました。MFCは所定の差圧より大きな圧力で動
作させると、時に制御不良になる可能性があるのですが、これは仕
様にあるガス種と異なるガスを流した場合も同じような現象が起きる
ことがあります。例えば窒素(N2)用のMFCに軽いガスの代表である
水素(H2)を流した場合です。実はこのお話は、第14夜 流量センサー
ｖｓ 流量制御バルブ、続く第15夜 水素ｖｓ窒素 で既にお話している
内容の復習になります。これらのご説明では、主に流量センサーとし
てのCFは似通っていても、流量制御バルブの特性は全く異なるガス
として、この２種を例にご説明しました。ですが実際に「手持ちのMFC
を違うガスで使いたいけど・・・」はMFCに関するお問い合わせの中で
も非常に多いものですので、再度ハンチングの現象面からご説明して
おきます。
一般にH2は非常に流れやすいガスですから、H2用のMFCはバルブ
オリフィスを同じ流量のN2用より小さい径にして製作されます。その逆
でN2用に製作されたＭＦＣにH2を流すと、同じバルブ開度でもかなり多
くガスが流れてしまいます。ここで下図のような差圧が大きい時の現象
と似通った現象がおきます。
同じ流量を制御するには、H2だとバルブ制御電圧の分解能から考え
ると、かなりつらい条件になるのがおわかりいただけると思います。流
量信号と流量設定信号を比較し、同値になるよう開度を制御するはず
のMFCですが、図にあるようにガスの特性の差から、非常に狭いレンジ
での制御を強いられることになり、苦しくなってくるとやはりハンチングが
発生してしまいます。
（図のバルブ制御電圧と流量の関係は、あえて直線で表しています。
実際はこのようなきれいな直線にはなりません。またN2とH2の比率
も正確な値ではなく説明用の観念図とお考えください。）
こういった場合の対処は前夜と同じです。ガス供給圧を下げられると
ころまで下げてもらい、せめて差圧条件だけでも楽にしてもらえると、
MFCは制御を取り戻す可能性もあります。また設定流量を大きくして
もらうのも手ですね。もちろん本来は、ガス種にあった仕様のMFCを購
入して、使用していただくのがベストです。その場合は、まずは川口液化
ケミカル株式会社さんに、ご一報をお願いしますね。それでは！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
Deco先生、毎度毎度の専門的な講義をありがとうございます。
ガス屋としてもっと精進して参ります。
マスフローコントローラーに関するご質問、お問い合わせ
のことなら何でも知っている Deco先生に精査していただ
けますので、どうぞ弊社までご連絡ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月７日 水曜日
天気 雨
気温 １６℃（PM8:30）
です。
しとしと雨が降り続いてます。
GW前半の快晴で屋外活動全快でしたし
後半のしめやかな雨でスローダウンして
安息日となりちょうど良かったかもしれません。
投稿者: 管理人 日時: 2009年5月 6日 20:46 | 固定リンク：ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？ MFC・MFM