シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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マスフローコントローラー

2009年4月29日 17:54

高温で使用できる MFC / MFM はいかがでしょうか?


使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


ガス機器、ガス流量制御機器、ガス配管工事など

川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。

TEL 048-282-3665


E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 4月29日 水曜日
 天気 はれ
 気温 19℃

です。
 
「おもしろきこともなき世をおもしろく」

 上の句ができたが、下の句は息が切れてつづかない。
しかし下の句など晋作の生涯にとって不要にちがいない。
かれの情念も生活もこの上の句のなかに尽くされており
たとえどのように巧みな下の句をつけても蛇足になるに
相違なかった。が、歌人の野村望東尼は晋作の寿命が
すできつきようとしているのを見、いまいそぎ下の句をを
つけてやらないとせっかくの辞世が尻切れとんぼになる
ことをおそれ

「すみなすものは心なりけり」

と、つけた。
 おもしろくもない世の中をおもしろく凄み暮らしてゆくのは
心である、というのである。説教くさく道歌じみていて、上の
句の迫力が急にしぼんだような感じだが、歌としてまとまる
ことはまとまった。しかし、晋作はそれで満足したらしく

「・・・おもしろいのう」

と言って目をつぶり、ほどなく息をひきとった。

世に凄む日日 司馬遼太郎著より

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