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マスフローの動作差圧に関する誤解 (MFC)
マスフローコントローラーの解説につき順次噛砕いた
説明をしている第四十二回回目の解説になります。
それでは講師の Decoさんお願い致します。
第42夜 マスフローの動作差圧に関する誤解
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第42夜です。
春を通り越して、いきなり初夏の暑さが続く関東地方ですが、外
回りをしていると靄とも黄砂とも判断のつかない粉塵にさらされる
こととなり、花粉症とは無縁のDecoですら、喉の調子が悪くなった
り、服が埃っぽくなったり・・・と、あまりいい気分ではありません。
強い風で海まで吹き飛ばしてもらいたいものです。
さて、今夜は引き続き圧力のお話です。前夜は耐圧のお話で
したが、今日のお話は「動作差圧」と呼ばれる性能表記のお話で
す。どうもMFCは圧力に関する性能表記では色々誤解を呼んでい
る部分があるようです。前回「MFCは自身の圧力損失を調整し、
結果流量を減らす量を制御しているものであり、自身で流量を創り
だすことはできない」というお話をさせていただきました。動作差圧
というのは、まさにその事をあらわしたスペックです。「これだけの
流量を制御するためには、MFCで最大ここまでの圧力損失を作ら
なくてはいけないので、他の配管抵抗を加味いただいた圧力設定
でガスを供給してあげてくださいね！」という意味です。
例えば一般的なF.S.5SLM以下のMFCならば 「一次圧：49kPa
〜294kPa／二次圧：大気圧」という表記がカタログの仕様表にあり
ます。この場合このMFCの最低動作差圧は49kPaです、と言えます。
では、お客様からこのMFCの「最低動作差圧は？」と質問されたと
して、答えは「49kPaです。」と答えるだけで十分でしょうか？
その答えは△です。最低動作差圧49kPaのMFCは、一次圧：49
kPa／二次圧：大気圧でも動作すれば、一次圧749kPa／二次圧7
00kPaでも使用できると思われがちですが、実はほとんどのMFC
では、同じ差圧でも両立できない圧力条件なのです。
「どちらも（一次圧）−（二次圧）＝49kPaでMFCの制御する差圧
としては一緒だから、動くはずだろう？」という声をよく聞きます。
ところが最近のMFCは、動作条件で二次圧を真空から大気まで
の使用に制限しているモデルが多いのです。したがって差圧は取れ
ていても、二次圧が大気圧以上になる条件でMFCを使用される場合
は、ハンチングによる制御不良、制御バルブが閉まらず出流れによ
る低設定域の制御不良等の問題が生じる可能性がありますので、
前もってメーカーに確認いただく必要があります。
これにはMFCのバルブ構造が密接に関係してきます。詳しいお話
は次回お話します。今夜のところは、MFCの動作差圧というのは、単
に絶対的な差圧の値だけではなく、特にMFC二次圧力どうなっている
か？に着目してくださいとお話しておきます。それでは。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
マスフロコントローラーは単なるガス流量計ではなく、技術の
粋を集めた最先端テクノロジーの集大成といってもよいですね。
ＭＦＣ／ＭＦＭに関するご相談ご検討は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
ありがとうございます
今日の川口のお天気は？
４月１５日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１８℃、昼２３℃
です。
昨日の雨は久しぶりの生き物への恵みの雨となりました。
久しぶりの雨で植物は嬉しかったでしょうね！
投稿者: 管理人 日時: 2009年4月15日 23:42 | 固定リンク：マスフローの動作差圧に関する誤解 (MFC)