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大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？ （MFC）
ガス流量計のマスフロコントローラーを解説していただく
シリーズ第３０回目になります。専門知識の集合体である
MFCを解説できる Decoさんの親切丁寧な説明で、皆さん
プロフェッショナルになりましょう！
第30夜 大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第30夜です。
未曾有の不況の中、第44代米国大統領にバラク・オバマ氏が
就任しましたね。彼のスピーチのうまさは有名ですが、日本で
も大統領就任演説のCDの予約がすごい勢いで増えているよう
です。確かに、かのキング牧師のスピーチに似せた、簡易な単
語を繰り返していくスピーチは、非常に人の心をつかむものでし
たね。
さて、今晩のマスフロー千夜一夜物語は大流量MFCの構造に
関してのお話です。
実は大流量MFCのお話をするに当たって、もう一度MFCの基礎
についてのお話を繰り返させていただきまくことになります。この
物語の「流量センサー」に関して説明している部分に戻っていただ
き、繰り返し読んでいただけるとわかりやすいかもしれません。
MFCは 「径の細いセンサー管に2対のヒーターが設置され、同じ
温度に制御されている。そのセンサー管に気体を流すと、上流側
のヒーターの温度は奪われて下降し、逆に下流側は上流側のヒー
ターから奪われた熱が加温され上昇する。この時上流側ヒーター
と下流側のそれとの間に生じた温度差は、流れる気体の質量流量
に比例することを利用して流量を測定する。」 前に掲載しました「M
FCの構造」という図の流量センサーという部分の説明です。
ところでこの図を見ていただくと、MFCに入ったガスは全部流量セ
ンサーに行くのではなく、分岐していることがわかると思います。この
分岐した流量センサーの真下の部分に今回は「層流素子（バイパス）」
というキャプションをつけさせていただきました。実は前回までのMFC
の基礎をご説明する上では割愛した箇所なのですが、こと話が大流量
MFCに及んでくると、この部分が非常に大きな役割を果たすことになり
ますので、この場でご説明いたします。
実はMFCに使用される流量センサーは、MFCの中を流れる流量の
全て測っているわけではありません。どんな大きな流量のMFCでも、
センサー管の中に流れる流量は10SCCM以下の微少流量なのです。
残りの流量は分岐して「層流素子（バイパス）」に流れています。どちら
かというと流量センサー管がほんの一部の流れをサンプリング測定して
いるような構成です。
なぜ？ このような構造なのか？
その答えは「層流素子」という言葉がいみじくも表現しています。
このセンサー管と組んで大部分の流量を流している「層流素子（バイ
パス）」という部分は、実はそれ自身に「層流」を作るためではなく、相
棒である流量センサー管内部に「層流」を作るために、余計な流れを
「バイパス」している部品なのでした。
「えっ？層流ってそもそもなに？」
「そもそもなぜセンサー管内に層流が必要なの？」
といったご質問には、次週以降お答えしていきますね。それでは。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
MFC/MFM のことなら 川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞ、ご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１月２１日 水曜日
天気 曇り
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝５℃、昼７℃、夜６℃
です。
さあ！オバマ大統領の登場です。
日本もいろいろな変革を求められる大事な時代に
突入しています。意識、考え方、常識などが
ひっくり返るかもしれません。
とにかく、今の混沌とした行き止まりのような状況に
一石を投じられる出来事であることに変わりはありませんね。
投稿者: 管理人 日時: 2009年1月21日 18:54 | 固定リンク：大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？ （MFC）