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MFCは色んな用途で使われているのです
今年初めのマスフロコントローラー解説シリーズです。
それではDecoさんよろしくお願い致します。
第28夜 MFCは色んな用途で使われているのです
皆さん、明けましておめでとうございます。マスフロー千夜
一夜物語 第28夜です。
実は年明けとともにDecoのPCも新型に変わりまして、心機
一転この原稿を書いております。今年もよろしくお願いいたします。
さて、MFCの用途に関してお話しすることになっていました。
先日お話した半導体も含めて、ざっと上げてみましょう。
・半導体製造
・液晶/PDP/有機EL製造
・LED製造
・ディスクメディア(CD、MD、DVD、HDD)製造
・環境（ガス製造、排ガス処理）
・分析（ICP-MASS、ガスクロマトグラフ）
・エネルギー（原子力発電、燃料電池、太陽電池）
・宇宙開発
・燃焼（炉、バーナー、溶接）
・真空蒸着、スパッタ
・コーティング（レンズ、ミラーの保護）
・工具（超硬工具）
・医療、製薬
・研究、実験
結構色々とあって、驚かれましたか？
実はガスを使用する用途では、ほとんどといっていい
ほど、MFCは使用される可能性があるのです。これらの
用途に使用されるMFCの仕様は種々ありまして、流量が
F.S.1SCCMの微少流量から1000SLM以上の大流量、圧
力も高圧から低圧、大気圧、真空の領域まで、ガス種も
一般的な不活性ガスから、レアなガス、毒性や腐食性の
強いガスまで様々です。
今までお話してきたのはMFCの一般的な構造＝基礎編
でしたが、これからはどちらかというと数は多くないが、非
常に特殊な用途用に特化したMFCのお話を増やしていき
たいと思います。
まず次回から大流量用のMFCに関してお話します。それでは。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
今年は、ＭＦＣを深く解説いただくことになりそうですね。
勉強勉強！！
マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１月７日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝３℃、昼７℃、夜５℃
です。
お正月も明けて、実業界もそろそろ本格始動といったところ。
まだまだスタートながら、冬篭りをどう過ごそうかといった
話に終始する年始挨拶が多いようです。
投稿者: 管理人 日時: 2009年1月 7日 20:07 | 固定リンク：MFCは色んな用途で使われているのです