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軽いガスは、流量計選定にご注意ください!

2008年11月26日 21:39

 ガス流量計の中での精度の高いマスフローコントローラにおいて
気を付けたいことがあります。

ガスの物性はそれぞれことなる特性を持つため、N2 や Ar など一般
的なガスで使用できるからと言って、他のガスにもそのまま転用可能
なわけではありません。

当然、ガス分子ごとに質量が異なるため係数をかけあわせれば概ね
正解に近い流量をみることもできますが・・・

2008.11.26MFC.jpg

水素やヘリウムなど、質量の軽いガスでマスフローの選定を誤ると
ハンチングしてしまったり、制御性が悪くなってしまい、本来の正確さ
などキャンセルされてしまう事態に陥りがちです。

一体型マスフローコントローラーなどのAir換算で、同じキャパシティー
のものにすると、バルブがCv値ギリギリであったり、Cv値に入らなくなり
条件が合わなくなった途端に、前述のようなハンチングが起きることが
あります。

ということは・・・

流量計のサイズに対してバルブは一回り小さいタイプにするのが理想です。
望ましくは、上の写真のようにセンサー部とバルブを別筐体で選定できれば
仕様範囲を満足できるはずです。

すべてのMFC モデルで別体タイプをご用意できますので、ご相談ください。

マスフロコントローラー・マスフロメーターのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 11月26日 水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝7℃、昼9℃、夜8℃

です。
今日は暖かい初冬の陽気でしたね。
自転車で手袋なしでもいけちゃう程でした。
熱い寒いはその時々の変化を感じさせる
大切なものですよね!

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