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大流量マスフロコントローラー

2008年11月11日 19:47

 ○SCCM もしくは ○○SLM のマスフロコントローラーは
良く見受けられます。

ですが・・・ 100SLM オーバーのマスフロコントローラーは
あまりないですよね! 

brooks.jpg
Brooks Instrument 製の Mass Flow なら 100SLM から 2500SLM
まで対応できます。

例えば BROOKS S SERIES ならば・・・

フルスケールレンジ 100 〜 2500 L/min(S)
コントロールレンジ  50:1
バルブシート     エラストマ製
精度          ±0.7% of R.D.& ±0.2% F.S
リピータビリティ    0.25 % RD
セトリングタイム   < 1sec
リークレート      1 x 10 -10Pa
設定入力信号     アナログ:0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
             端子:RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
出力信号       アナログ:0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
             端子:RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
所要電源電圧    15〜24Vdc
耐圧力         6.89MPa
作動差圧       81〜204 kPa / 205〜2000kPa
周囲温度範囲    0〜70℃

大流量タイプの質量流量計のことなら川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 11月11日 火曜日
 天気 くもり
 ボンベ庫の温度 朝9℃、昼11℃、夜10℃

です。
昨日、アフターファイブ(ふるっ!)に公営野球グランドで
練習してましたら、外野の芝生に夜露が付いていて
体を動かしていないと寒かったです・・・。
ほんとここ数日の陽気は冬ですね。

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