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一つ一つは小さいが・・・ （MFC/MFM）
マスフロコントローラーの伝道師 Decoさんによる毎週水曜日
お知らせしているMFC解説シリーズの第十九回目です。
ではいってみましょうか！
第19夜 一つ、一つは小さいが・・・
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第19夜です。
アメリカに初の黒人大統領が誕生しましたね。これはなかなか
エポックメイキングな出来事です。ＭＦＣのような製品でも「初の
・・・」という技術は色々とあるのですが、今夜紹介する技術は
その中でも大きなエポックになったものです。
前夜お話ししたソレノイドバルブは、電磁石で動くわけですから
暖めて伸びるのを待たなくてはいけないサーマル方式に対し、数
段早い応答特性と、大きなストローク（＝流量をたくさん流せる）を
持っていたので、ＭＦＣにとっては非常に使いやすいバルブとして
多くのベストセラーＭＦＣを産みました。有名なのはTylan社、Brooks
社、Unit社製品ですね。これらの会社はほとんど米国系企業で、
今でも色んな事情で社名を変えながらも、第一線のMFCサプライ
ヤーとして存在しています。
これに対して、日本をベースにしたMFCメーカーが多く採用して
いるのが、第三の方式になるピエゾバルブです。「ピエゾ」という
言葉自体が、あまり馴染みのないものかと思いますので、今晩は
このピエゾバルブの中核である「ピエゾアクチュエータ」に関して
御説明しましょう。
ピエゾとは圧電素子の一種で、「ある結晶構造体に機械的圧力
を加え変位させると、この圧力の大きさに比例して電圧を発生する」
原理を応用しています。実際にはこの逆原理を使っており、「ある
電圧をかけることでで、結晶構造体が変位する（伸びる）」事を利用
しています。伸びる長さはナノからミクロンメータの微小な単位です。
これが単体ではバルブは少ししか開かないので、図にあるように積
層スタックすることで、一つ、一つの伸びは小さくても、みんなが集ま
れば・・・という形で使用されます。
それでもミクロンオーダーしか伸びはしないのですが、MFCが流す
流量ならば十分なのです。ピエゾアクチュエータは、実は色んな産業
用途で使われています。MFCに組み込んで実用化したのは、日本の
エステック社でした。非常に小さなギャップを高い分解能で精密に制
御できる・・・いかにも日本人が好みそうな機構です。技術の指向性
には、国民性、民族性が大きく関わってくるのだなぁ〜と思わされる
傾向です。そしてピエゾがソレノイドを決定的に上回る能力があります。
実は一つ一つは小さなピエゾですが、すごい力持ちなのです。
そのお話はまた来週・・・
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
※文中にある特定企業を指す「社名」は、極力当時の社名で
表記しております。現在の社名とは異なる企業があることを
お断りします。
マスフロコントローラーで一つの物語ができるストーリーを
もっています。MFC・MFM のことなら川口液化ケミカル株式
会社までご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の川口市のお天気は？
１１月５日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１０℃、昼１３℃、夜１２．５℃
です。
今日、お昼の南アルプスは快晴でした。
涼しさはあるものの、寒さを感じる前の段階で
行楽には最適の陽気でしたね。
（私はお仕事ですので、あしからず。）
投稿者: 管理人 日時: 2008年11月 5日 22:20 | 固定リンク：一つ一つは小さいが・・・ （MFC/MFM）