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真空用バタフライバルブ

2008年10月 7日 14:45

 真空用のバタフライバルブは、開口部のコンダクタンスが大きい
ものの、ゲートバルブのように開口部が完全にフリーの空間になら
ないので、試料の移動などはできません。また、軸シールはOリン
グシールのみですので、超高真空には使用できません。
 ですがバルブ構造が簡単なので故障が少なく、トラブル対応も
容易です。フランジ口径は、最大200mm程度です。
 バタフライバルブやほかのバルブも大気圧と真空側とのIN,OUT
側を併用できますが、ゲートバルブだけは真空側と大気側の開閉
方向を確認することが大切です。ただし、逆圧がかかりますので、ポ
ンプやチャンバーなどに影響があることをあらかじめ考慮に入れましょ
う。

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今日の埼玉のお天気は?
 10月7日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝17℃、昼20℃、夜20℃

です。
今日の京都は、小雨混じりで少々気温も高かったようで
しばらく歩いていると汗ばむような感じでした。
それでも大雨でなくて良かったです。

今日の環境情報は?
エネルギー資源の残余は?
(採掘可能年数:2006年BP資料)
石油 40年
石炭 147年
天然ガス 63年
ウラン 73年

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