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真空バルブ

2008年10月 4日 18:16

 真空バルブのご紹介2回目です。高圧ガスのバルブ
では、ボールバルブ、トルグバルブ、ニードルバルブ、
ベローズバルブ、ダイアフラムバルブ、バフタフライバルブ
ゲードバルブなどありますが機構自体は同様のものが多く
含まれています。
 低真空領域であれば陽圧である高圧ガス用バルブが
低真空でも用途によっては使用可能です。中真空、高真空
になりますとバルブの内部リーク、外部リークともに真空で
耐えうるものではなくなるため、真空専用のバルブを選択さ
れることをお薦め致します。

真空用のゲートバルブとは?

 バルブを開いたときコンダクタンスが大きいバルブで、開口部
にバルブIN、OUT側を通過させてサンプルやウエハーや試料
をまるごと移動できるなどの用途には最適です。
 バルブのゲート部が駆動する機構にコストのかかる複雑な構造
を取らざる得ないため他のバルブと比べて高価です。
バルブの内部でスライダーと呼ばれるバルブ弁のマウントが移動
して、逆に閉止するときは移動方向が90度変わってシールします。
このときバルブ弁が全周に渡り均等に同じ圧力で押しあてられるか
がシールの性能や内部リーク性能などメーカーにより差が出るとこ
ろです。バルブの口径はφ1000以上の大口径まで幅広くライン
ナップされています。シール部はバイトンとメタルシールなどあり、
手動と圧空駆動があります。
 高真空から超高真空ではVAT製(スイス)が圧倒的に信頼性と
性能、実績でメジャーなバルブとなっています。最近ではVG社など
でも取扱いを始めています。

高真空バルブ、ゲートバルブ、VAT・VGなどお問い合わせください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 10月4日 土曜日
 天気 はれ
 気温 23℃(PM6:40)

です。
今更ながらですが、オリックスの清原選手はプロ野球選手として
世の中に注目され、また、その期待に応え、才能を発揮したこと
を鮮明に記憶に残しました。
私の同世代で高校時代から騒がれたことのプライベート側では
さまざまな想いがあっただろうことが容易に想像されます。
感動をありがとうございました。

今日の環境情報は?
日本人の一人当たりの魚介類の消費は約65キログラム(2003年)
で世界平均の4倍以上を消費しています。
無駄な食べ残し、残飯など意識して減らしていくことが大切ですね。

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