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真空機器のベーキング

2008年9月12日 21:33

 真空には真空度が異なることで使用できる規格フランジや
ポンプ、チャンバー構造なども違ってまいります。

例えば・・・

 中真空の 10 -5Pa 領域ですと、許容リークは 10 -7Pa m3/sec
で真空機器のベーキングがせいぜい70℃までで十分な世界なので
使用できる素材は、金属ですと「軟鋼、電気鋼、アルミニウム、高融点
金属(Ti,Ta,W)」などになります。非金属材料では「ネオプレンゴム、テフロン
パイレックスガラス、コパールガラス、アルミナセラミックス、真空グリース」などが使用でき
る環境です。

 これに対し、超高真空領域は 10 -9Pa になり、許容リークの数値も
10 -11Pa m3/sec ベーキングが200〜250℃の長時間ベークが必要
です。温度が高いということは、おのずと使用できる金属もステンレス
(SUS304,316)、アルミニウム、無酸素銅、高融点金属(Ti,Ta,W)コバール
合金などで、非金属もバイトン、ポリイミド、コバールガラス、アルミナセラミックス
とガス放出速度を重点に選定した素材となっています。

真空機器、真空チャンバー、真空漏れなどのリーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の川口のお天気は?
 9月12日 金曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝23℃、昼29℃、夜30℃

です。
九月に入ってからの夏のような陽気は、どこか夏の終わりを告げる
寂しさのような印象をごくごく僅かにですが感じさせます。
季節の変化が日本の風土の素晴らしさのひとつですしね!

今日の環境情報は?
小学3年生の子供に質問されました。
「エコ(ECO)ってなあに?_それに何すればいいのかな?」
ギクリときますよね。
周りのすべてのものに優しいことかな?
無駄使いをなくすことかな?
などなどと答えましたが、正解は・・・。
ははは。

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