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アプリケーションから観たマスフローコントローラの適用常識

2008年7月 2日 23:49

 マスフローコントローラ (MFC) を採用する側から観たMFCの適用常識において
圧力条件で考慮するとき、一般に出回っているMFCは最高使用圧力1MPa以下
動作差圧 0.3MPa 以下が常識になっています。

 したがって、アプリケーションがこれら圧力範囲を超える条件下で MFC を適用す
る場合には、 MFC の適用範囲になるよう、例えば、MFC の1次圧力を最高使用
圧力以下になるように減圧弁などで調節する必要がでてきてしまいます。 更に、
MFC 前後(入口、出口側)の圧力差(差圧)が運転条件上、0.3MPa 以上の場合
MFC の動作差圧を考慮してバックプレッシャーレギュレーターなどを設置してMFC
差圧を 0.3MPa 以下にしてあげなければなりません。 

 つまり、MFC のために1次プレッシャーレギュレーター及びバックプレッシャーレ
ギュレーターを設置しなければいけないということです。このことはアプリケーション
系全体を複雑にすることに繋がりますし、且つ、系全体のフレキシビリティーを制限
する結果となりますので、運転上の自由度がかなり制限されてしまう結果となります。

しかし!

世の中にはこれら MFC の適用常識を覆すとんでもない MFC があるんです!

 それは、「Vary-P マスフローコントローラ」という MFC で流量制御レンジが
0.2~10mln/min から100ln/minまでカバーするでき、最高使用圧力は 70MPa まで

なんと! 動作差圧は 0.6MPa ~ 40MPa までカバーしてしまうのです。

何故このように広範囲な適用圧力及び差圧を持てるのか?

その理由は・・・採用されている圧力補償型調節弁(パテント済み)にあります。

コンセプトを下記の通りです。

2013.03.13MFC1.jpg
                        圧力補償機能付直動電磁式調節

動作ポイントは!!

P1-P1' 間圧力を常に1定差圧になるよう右側の弁で調節します。
したがって、P1圧力が時々刻々変動しても、又2次側圧力P2が
時々刻々変動しても、常にP1-P1'間圧力は一定に保たれるので
これら圧力変動に影響されなく安定した流量コントロールが可能
になります。更に、この調節弁はプレッシャーコントローラにも適用
可能です。


この MFC を適用するメリットとして考えられるのは?
その一
 1次圧変動、2次圧変動するアプリケーションに最適、安定した流量コントロールが得られます

その二
 運転圧力及び差圧の大きいアプリケーションでもほとんどどカバーできるので、減圧弁や背圧
 弁を MFC 前後に設置する必要がなくなるので設備が単純になり、運転に柔軟性がでて参りま
 す。また、コストオブオーナーシップの低減に繋がります。


それでは早速その適用例を見てみましょう!
その一
 多くのパイロットプラントやテスト装置や設備

その二
 ガスボンベからMFCを介してプロセスにガスを供給する設備など

2013.03.13MFC2.jpg

微少流量から大流量、高圧ガス申請の必要な高圧仕様のマスフローコントローラーまで
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今日の埼玉のお天気は?
 7月2日 水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝23℃、昼26℃、夜27℃

です。
いわき市に行きまして、電車を降りたとき
埼玉より涼しいかな?
と感じました。
雨が少ないようで、一頃昔の水不足で水素のプラントが
停止することがあるかもしれませんね。

今日の環境情報は?
主要国の債務残高(対GDP比)は?
日本        約170%
イタリア      約120%
フランス      約75%
ドイツ、アメリカ、カナダ 約70%
イギリス      約50%
※日本に住む人全てが、1年間働いて生み出すお金の
1.8倍の借金があるということですよ!!!

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