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特殊材料ガスの除害

2008年5月21日 23:20

 半導体製造装置などから排出される排ガスの処理は
そのガスの性質を考慮して、物理的処理、化学的処理
またはその両方を組み合わせた方法が採られておりま
す。主な除害処理方法は以下の通りです。

・固着吸着処理
  比表面積の大きい吸着剤または粉粒体に、金属塩 
 や酸化剤、アルカリなどを含侵させた処理剤によって
 対象ガスを吸着処理または無害化処理します

・接触酸化処理
  比較的高温の触媒上で空気などの酸化剤を利用した
 接触酸化により対象ガスを酸化して、無害化処理します

・燃焼処理
  水素ガス、プロパンガス、都市ガスなど燃焼炎に対象
 ガスを導入して、燃焼、酸化分解により対象ガスを無害
 化処理します

・湿式吸収処理
  各種のガス吸収装置(スクラバー)で水分または薬液
 により対象ガスを洗浄処理します。

 これらの除害装置は、除害対象となるプロセスやガスの種
類、各ガスの流量に応じて組み合わせたシステムとして利
用されます。

特殊ガス、特殊ガス配管工事、半導体製造装置の真空機器
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は?
 5月21日水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝16℃、昼19℃、夜22℃

です。

今日の環境情報は?
南極の巨大棚氷が温暖化で予想以上の速度で崩壊へ
進行しているようです。英国南極観測局(BAS)の調査
によれば、約41キロに渡り亀裂が入り、その一部が消失
しているそうです。このウィルキンズ棚氷は南極半島にあ
って東京都の6倍の大きさで、1974年以降、この棚氷と
同じだけの面積の氷が崩壊したとされております。

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