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除害装置

2008年5月17日 21:39

 半導体の製造に使用される特殊高圧ガスは、可燃性
毒性、支燃性、腐食性、分解性など多種多様な危険な
性質を持っております。
 これら特殊材料ガスを除害するには、対象ガスの種類
、物性、濃度、流量、圧力、除害剤の寿命、前後の装置
との連動など諸条件を考慮し選定する必要があります。
 具体的な除害方法を具体的に見てみましょう。

水素化合物 SiH4,PH3,B2H6,H2,NH3,など
 ・常温固体吸着(酸化剤液含侵吸着剤)
 ・熱分解  燃焼、接触酸化
 ・プラズマ分解
 ・湿式吸着(アルカリ液、酸化剤液)

ハロゲン BCl3,Cl2,HCL,HBr,など
 ・常温固体吸着(アルカリ剤、ゼオライト、活性炭、添着活性炭)
 ・加熱固体吸着(アルカリ剤、金属酸化物)
 ・プラズマ分解+固体吸着
 ・湿式吸着(水、アルカリ剤)
 ・熱分解  燃焼、接触酸化

金属有機物
 ・常温固体吸着(活性炭)
 ・熱分解  燃焼、接触酸化
 ・湿式吸着 水

NF3
 ・加熱固体吸着(金属、炭素)
 ・熱分解  燃焼、接触酸化
 ・プラズマ分解+固体吸着

PFC
 ・熱分解  燃焼、接触酸化、触媒、化学熱分解
 ・固体吸着
 ・プラズマ分解

などです。

特殊材料ガス、特殊材料ガス用除害装置、特殊ガス配管工事
などのことなら川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。
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 5月17日土曜日
 天気 晴れのち曇り
 気温 17℃

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今日の環境情報
値上げラッシュのこの時期、主要各国の
ガソリン価格(L)は、欧州など環境先進国では
二酸化炭素の排出量を抑えるため、税率が
高く、日本やアメリカは低いのです。
75円 メキシコ
90円 ニュージーランド、アメリカ
120円 オーストラリア、カナダ
160円 日本  
170円 ギリシャ、スイス、チェコ、スペイン
180円 オーストリア、アイルランド
190円 ハンガリー、ポーランド、スロヴァニア、ルクセンブルク
200円 韓国
210円 スウェーデン、フランス、イタリア、フィンランド、
220円 ドイツ、デンマーク、ポルトガル
230円 イギリス、ベルギー
240円 ノルウェー、オランダ
270円 トルコ

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