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真空装置へのガス導入

2008年4月 2日 18:35

 真空装置へのガス導入系は、ガスの純度やガス
機器の選択を含め気を使いたいところです。

ガス導入.jpg

 装置の種類やガスの用途・役割などによりそれぞれ
の検討項目が増えてきます。
 先ずはそのガスのグレードです。高純度ガス自体の純度
もさることながらそこに含まれている水分や酸素分などが
どの程度含有されているか? 確認が必要です。
 次にガスを導入するガス機器ですが、調整器は二次側が
真空になる可能性がある部位には連成計を使用しましょう。
通常の圧力計に高真空状態で使用しますと、圧力計は一瞬
で故障します。注意が必要です。
 次にガスの流す量とそのタイミングです。まさか電磁弁で
「ON」して一気にガス導入することでどうなるか容易に想像
できますね。金属だけのチャンバーであればまだ良いかも
しれませんが、場合によってはビューポートなどが、あたかも
チャンバー内でガス爆発でも起きたかのように大気側に粉々
に砕け散ってくるかもしれません。また、排気系がCRYOなら
まだ良いものの、TMPなどの場合は大気突入となりますので
高速回転軸がぶれて故障したり、場合によっては再起不能に
なることも考えられます。ここも注意が必要です。
 大気に戻すにしてもスローリークが可能なバルブの選択や
MFCなどを使用している場合はフィルターなどをインレット側に
入れるなどの気遣いが必要です。

ガス・真空・低温機器のことなら川口液化ケミカル株式会社
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ありがとうございます。


今日の埼玉のお天気は?
 4月2日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝10℃、昼14℃、夜10℃

です。
疲れたり傷ついたりしたら・・・
「丁寧に生きれば、きっとどこかにつながる。
心を込めた仕事をすればきっと結果が出る」
と呪文のようにつぶやくんです。
       佐々木志穂美(エッセイスト)

三人の男の子に恵まれた佐々木志穂美さん。
しかし、長男は脳障害、二男は知的障害のない
高機能自閉症、そして三男は知的障害を伴う自閉症でした。
 佐々木さんは当初、この現実を受け入れられず、両親の
庇護のもと、辛いことや悲しいことから守られていた過去に
戻れないか、と考えていたといいます。
 しかし、いつの頃からか、自分の中の親の分量が、子の
分量を超え、帰りたい場所はここにしかないと覚悟が決まり、
もうこの子たちが普通の子だったら、とは考えなくなったそうです。

「何もないように見える一日もどこかに続く大切な一日なのです。
 そう思えるようになったのは、子どもたちのお陰です。うちの子
 の成長がスローモーションだから、いろんなものが見えていると思うのです」

「人生に対する動体視力の弱い私たちには、ゆっくりのほうが幸せも
 よく見えていいんだと思っています。(中略)私は子育てを通じて、
 幸せに気づく力を与えられました」

 佐々木さんの言葉は、私たちが先を急ぐあまり、たくさんの
かけがえのないものを見過ごしていることを気づかせてくれます。
二度とない一日一日を慈しみ、大切に生きることで、豊かな人生
を築いてゆきたいものです。

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