シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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チャンバー洗浄

2008年3月31日 21:00

 MOCVDなどの化合物で反応させたチャンバー内面に
付着した重金属などが積層すると、最終的には洗浄する
しか除去することができなくなります。

VCR.jpg

 大口径のICFフランジにVCRタイプのガスフィッティング
継手が相当数設置されている洗浄なども必要になります。

VCR2.jpg

 真空チャンバーの洗浄からフランジ、導入器、などなど
分解洗浄し、装置の真空度立ち上げまでお手伝い致します。

川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。


今日の埼玉のお天気は?
 3月31日
 天気 雨のち曇り
 ボンベ庫の温度 昼7℃

です。
昼食でファミリーレストランなどにはいると
中学生や高校生が大勢集まって、春休みを
謳歌してます。
お金さえあれば、食べ物が幾らでも出てきて
飲み物もアイスなどのお菓子も事欠かない
憩いの場所なのでしょうね。

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