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ベーキング

2008年3月10日 23:53

 真空チャンバーをポンプで排気しても超高真空に
到達するためには長時間をかけてもなかなか達し
ません。一般的にベーキングと呼ばれるか加熱脱
ガス処理を行います。
 ベーキングは、真空排気しながら真空チャンバー
全体をヒーターなどで100〜400℃に加熱し材料
表面に吸着している水分などのガス分子のエネル
ギーが吸着の結合エネルギーに近づいたり、または
大きくなることで蒸発します。ベーキングしているとき
は、水分などの蒸発が進み圧力が一時的に上昇しま
すが、徐々に減少していきます。
 ベーキング温度はステンレスの場合200〜400℃
で、アルミの場合は150℃です、
 ベーキング時間は、高真空の場合数時間で、超高真
空では1〜2日間かかり、ベーキングを終了すると真空
チャンバーが徐々に常温に戻るにつれて圧力が急激に
減少し超高真空に到達するのです。

真空チャンバーの製作や修理、改造、真空ポンプの
更新など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。


今日の埼玉のお天気は?
 3月10日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝6℃、昼9℃

です。
そろそろ国際宇宙ステーションの日本の
実験棟「きぼう」がさまざまな宇宙での
ミッションを行うた地球から放たれます。
最高の成果が出ることを希望します。

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