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残留ガスの分析

2008年1月30日 22:29

 真空装置の中に残っている残留ガスを調べる方法は
マスフィルターと呼ばれる質量分析器が一般的に利用さ
れています。
 この分析器で、ガス毎のマスナンバーを、水素は1、ヘ
リウムは4、水は18、COは28など質量によって元素や分
子を固定して特定するのです。
 マスフィルターの構成は、残留ガスを電離するイオン源、
イオンを効率よく分析電極に導入するための静電レンズ、
分析電極としての四重極電極、イオン電流を検出するファラ
デーカップからなります。このファラデーカップは、イオン電流
が微弱な超高真空に適した二次電子倍増管に変わっていま
す。
 その仕組みは難解ですが、高電圧と高周波を四重極に加え
適当な質量数のイオンだけが共振して電極を通過してフィルタ
ーのように所定の質量だけを通過させ残留ガスのスペクトルに
表わし成分比までピークであらわされます。同じピークの近くに
は同位元素や水や油の検出の邪魔をするものの有無まで判断
できます。
 半導体や核融合、加速器などクリーンな真空を確認するために
は残留ガス分析は欠かせないものです。

ガスマス、Qマスなどの残留ガス分析器は川口液化ケミカル株式
会社までお気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 1月30日
 天気 4℃
 ボンベ庫の温度 朝4℃、昼7℃、夜7℃

です。
ホッとするような暖かい一日でしたね。
直射日光の日差しが強いお昼間は乗用車の
社内が厚着の冬仕様では暑いくらいでしたね。

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