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コンビナトリアルスパッタコーティングシステム

2007年12月27日 19:05

 スパッタは、産業界で広く用いられている成膜手法の一つです。
ただし、その成膜時における制御パラメーターが非常に多いため
正確なパラメーター制御が困難となり、成膜特性の再現性や最適
化に要する時間がかかる問題がありました。
 今回、物質・材料研究機構 NIMS材料信頼性センター 微小材料
工学グループの後藤真宏研究員様、土佐正弘グループリーダー様
笠原章主幹研究員様による共同研究により最適制御パラメーターの
決定が従来システムと比べて10倍以上高速化できる成膜装置を開
発しました。
Scan10001.JPG
 サンプル基板を一度に真空チャンバー内に導入し、同条件に保つ
ことと、到達真空度 8 x 10 -6 Pa以下とすることなどコーティングシス
テムを工夫し、成膜の結晶性と結晶背向性を再現性よく作製すること
を可能にしました。
 また、それぞれのサンプルについて7つの成膜実験パラメーターを
あらかじめパラメーターレシピ表に登録して、それらをコンピューター
制御で設定して14枚のサンプルを全自動で成膜することができるシ
ステムを実現してました。
 成膜中のオペレーターが不要になり、正確な成膜実験条件でサンプ
ル作製が可能です。再現性がよく、今まで数週間かかっていた実験期
間を2〜3日で行うことができ、成膜のための実験パラメーターの最適
化を短期間で実現可能です。
 同システムは、共同研究研究企業である大和機器工業株式会社が
製造・販売致します。


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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 12月27日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝2℃、昼3℃、夜7℃
です。
年末のご挨拶に各社様をお伺いしておりますと
今日までフル生産している工場や、お掃除モード
で掃除機がブンブン回っているお客様、既に来年
の年明けに向け準備に入っている装置メーカー様
など様々でした。
今年も一年間多方面の方々にお世話になり
ありがとうございました。

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