シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

川口液化ケミカル株式会社 - 特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D

WEBで問い合わせ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

リアクティブイオンエッチング

2007年12月16日 23:38

 エッチングの一つであるRIE(リアクティブイオン
エッチング)はイオンを引きつけて大きな面積に
当てることでエッチングする方法です。
 二極スパッタのターゲット面積に制限はなく大
面積を一度にエッチングすることができることが
特徴です。また、アルゴンガスを利用すればス
パッタによるエッチングが可能です。
 フロン等化学的に活性なフロン・塩素・水素な
どの化合物を利用するとアルゴンガスだけのとき
の数十倍の反応速度にもなります。
 大量生産や安定したエッチング処理を行うため
に連続装置として微細加工を行うためにこの装置
が用いられております。

真空装置のガス導入系MFC(マスフロコントローラー)
やレギュレーター・バルブ・ガス供給パネルユニットの
製作など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 12月16日
 天気 はれ
 気温 3℃

です。
朝八時、公園を散歩すると息が白く寒さが身に沁みました。
青空には雲ひとつなく太陽がキラキラとしスキッとした空気
はとても気持ちが良かったです。

このページのトップへ

前の記事:エッチング
ブログ記事タイトル一覧

カテゴリー

アーカイブ

2017年

2016年

2015年

2014年

2013年

2012年

2011年

2010年

2009年

2008年

2007年

2006年

2005年

 


埼玉杉戸 無農薬稲作

無農薬稲作

川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせは、
お問い合せフォーム・メールもしくはお電話でお願いいたします。
9:00〜17:00(土日祝日を除く)
〒334-0073 埼玉県川口市赤井4-16-20
Tel:(048)282-3665 Fax:(048)281-3987

Copyright(c)2003-2015. Kawaguchi Liquefaction Chemical Corporation All Rights Reserved.