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ターボ分子ポンプ

2007年11月13日 20:01

 ターボ分子ポンプは高速回転体で作られたタービン翼と
固定された翼の組み合わせで構成されています。タービン
翼は回転の周速度ガス分子の運動速度とほぼ同じ領域で
傾斜したタービン翼で高真空側から低真空側にガス分子を
圧縮させます。
 常温のガス分子の運動の速度はガス分子の種類によって
異なり、分子量の小さいものほど運動速度は大きいのです。
ですから水素やヘリウムなども排気できる排気速度と圧縮
比が得られるように設計されています。ゆえにターボ分子ポ
ンプは本質的にガスを圧縮する機械といえます。
 タービン翼と固定翼の組み合わせで高真空側から低真空
側にガスをはじき飛ばしていきますが、結果的に圧力差が生
じます。この圧力比を圧縮比ともいいます。
 ターボ分子ポンプは油拡散ポンプなどのようにガス分子を
大気側に放出するタイプです。タービン翼の回転数は1分間
あたり数万回転で、毎秒50リットルの小型機種では9万回転
にも達するのです。

5000L.jpg 5000L.1.jpg

排気量 5000L/sec ! 大型TMP 大きな排気口ですね。

真空ポンプ(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、ゲッターポンプ)
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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 11月13日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝12℃、昼15℃

です。
中日のアジアチャンピオンになるまでの大躍進は
ペナントレースで優勝を逃し、力を落としていた状況
からはとても予想できませんでした。
2007年がやっと終わって、落合監督ご苦労様でした。

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